| 講演名 | 2007-10-05 量子分子動力学法によるダイヤモンドライクカーボン膜生成過程の検討(プロセス科学と新プロセス技術) 敷敦 其木格, 森田 祐輔, 鈴木 愛, / 古山 通久, 坪井 秀行, 畠山 望, 遠藤 明, 高羽 洋充, 久保 百司, / 宮本 明, |
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| 抄録(和) | ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、優れた低摩擦係数、耐摩耗性を有することから摺動部品、切削工具用途への展開が期待されている。このように様々な用途や目的に応じた特性を持つDLC膜をデザインするためには、膜質の違いによる特性の評価が必要である。これまで著者らは化学反応対応型分子動力学計算法を開発し、膜質を制御したDLC膜モデルの作成および特性評価を行ってきた。しかし、炭素原子間のトライボケミカル反応の解析には、量子論による検討が必要となる。そこで本研究では、第一原理計算プログラムCASTEPを用いDLC薄膜を作成し、電子レベルでの検討を行った。さらに当研究室で開発した化学反応対応型分子動力学計算プログラムNEW-RYUDO-CRとTight-Binding量子分子動力法を用いて、DLC生成過程について検討を行った。 |
| 抄録(英) | Diamond-like carbon (DLC) films are widely used as the coating materials in sliding parts. Because they show low friction and good wear resistance. In order to design DLC films which can be utilized to various usages and purposes, it is necessary to evaluate its characteristics caused by the difference of film quality. We have developed molecular dynamics method with chemical reaction which was used to prepare the DLC model. However, the investigations by the quantum theory are also needed for the analysis of the tribochemical reaction between the carbon atoms. From the point of this view, in this study we have prepared a DLC film using the first principle calculation program CASTER In addition, we study the DLC Formation process by using the molecular dynamics method with chemical reaction NEW-RYUDO-CR and the tight-binding quantum molecular dynamics method developed in this laboratory. |
| キーワード(和) | ダイヤモンドライクカーボン / Tight-Binding量子分子動力法 / 生成過程 |
| キーワード(英) | Diamond-like carbon / Tight-Binding quantum molecular / Formation process |
| 資料番号 | SDM2007-182 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2007/9/27(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 量子分子動力学法によるダイヤモンドライクカーボン膜生成過程の検討(プロセス科学と新プロセス技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Quantum Chemical Molecular Dynamics Study on Formation Process of Diamond-Like carbon |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダイヤモンドライクカーボン / Diamond-like carbon |
| キーワード(2)（和/英） | Tight-Binding量子分子動力法 / Tight-Binding quantum molecular |
| キーワード(3)（和/英） | 生成過程 / Formation process |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 敷敦 其木格 / Aodun QIMUGE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 森田 祐輔 / Yusuke MORITA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 鈴木 愛 / Ai SUZUKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | / 古山 通久 / Riadh SAHNOUN |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 坪井 秀行 / Michihisa KOYAMA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 畠山 望 / Hideyuki TSUBOI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 遠藤 明 / Nozomu HATAKEYAMA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 高羽 洋充 / Akira ENDOU |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 久保 百司 / Hiromitsu TAKABA |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | / 宮本 明 / Momoji KUBO |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Engineering, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2007-10-05 |
| 資料番号 | SDM2007-182 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 245 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | |