| 講演名 | 2007-10-04 分子動力学法によるMgOの力学的物性予測(プロセス科学と新プロセス技術) 大沼 宏彰, 芹澤 和実, 鈴木 愛, / 古山 通久, 坪井 秀行, 畠山 望, 遠藤 明, 高羽 洋充, 久保 百司, / 梶山 博司, 篠田 傅, 宮本 明, |
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| 抄録(和) | 界面や極限条件下での材料の物性を実験的に測定することは困難であるため,デバイス設計において,計算手法による物性の予測が重要なものである.本研究では,MgOの原子レベルでの挙動を分子動力学計算により追跡し,機械的物性を算出した.算出したポアソン比は約0.2となり,実験的に得られたものと一致した.また,電場に相当する力を考慮した計算から,電場下での変形を予測することにも成功した. |
| 抄録(英) | Theoretical predictions of kinetic properties under interfaces and extreme conditions, such as high electric field or high pressure, are very effective for the device designing because of difficulty of experimental determinations under such extreme conductions. In this study, to estimate the kinetic properties of MgO, we carried out the molecular dynamics (MD) simulation and estimated the atomistic behaviors of MgO. Our estimated Poisson's ratio was 0.2 and it was in good agreement with that obtained by experiment. Moreover, we also carried out the MD simulation considered the forces corresponding to the electric field and could predate the MgO deformation under electric field. |
| キーワード(和) | 分子動力学法 / ポアソン比 / ヤング率 / 電場 |
| キーワード(英) | Molecular dynamics method / Poisson's ratio / Young's modulus / Electric field |
| 資料番号 | SDM2007-171 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2007/9/27(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 分子動力学法によるMgOの力学的物性予測(プロセス科学と新プロセス技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Theoretical Prediction of Kinetic Properties of MgO by Molecular Dynamics Method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 分子動力学法 / Molecular dynamics method |
| キーワード(2)（和/英） | ポアソン比 / Poisson's ratio |
| キーワード(3)（和/英） | ヤング率 / Young's modulus |
| キーワード(4)（和/英） | 電場 / Electric field |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大沼 宏彰 / Hiroaki ONUMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 芹澤 和実 / Kazumi SERIZAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 鈴木 愛 / Ai SUZUKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | / 古山 通久 / Riadh SAHNOUN |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 坪井 秀行 / Michihisa KOYAMA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 畠山 望 / Hideyuki TSUBOI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 遠藤 明 / Nozomu HATAKEYAMA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 高羽 洋充 / Akira ENDOU |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 久保 百司 / Hiromitsu TAKABA |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | / 梶山 博司 / Momoji KUBO |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 篠田 傅 / CARPIO C. A. Del |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 宮本 明 / Hiroshi KAJIYAMA |
| 第 12 著者 所属（和/英） | 広島大学大学院先端物質研究科 Graduate School of Advanced Sciences of Matter, Hiroshima University |
| 発表年月日 | 2007-10-04 |
| 資料番号 | SDM2007-171 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 245 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 2 |
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