| 講演名 | 2007-10-04 プラズマディスプレイ用MgO保護膜の構造破壊ダイナミクスと理論設計(プロセス科学と新プロセス技術) 久保 百司, 芹澤 和実, 菊地 宏美, 鈴木 愛, / 古山 通久, 坪井 秀行, 畠山 望, 遠藤 明, 高羽 洋充, / 梶山 博司, 篠田 傅, 宮本 明, |
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| 抄録(和) | プラズマディスプレイの開発においては、プラズマ環境下におけるMgO保護膜の劣化特性の向上が重要課題となっている。本研究では、当研究室で開発した分子動力学プログラムNew-RYUDOを用いて、Xe照射下でのMgO保護膜の構造破壊について検討を行い、保護膜の構造破壊に対する面指数依存性を明らかにした。 |
| 抄録(英) | Increment of stability of MgO protecting layer under the plasma condition is strongly demanded for the development of next-generation plasma display panel. Hence, in the present study, we employed our molecular dynamics program to investigate the destruction process of MgO protecting layer. Our simulation results suggest that the destruction dynamics of the MgO protecting layer strongly depends on its surface Miller index. |
| キーワード(和) | 分子動力学法 / プラズマディスプレイ / MgO保護膜 / 構造破壊 / 再結晶化 |
| キーワード(英) | Molecular Dynamics Method / Plasma Display / MgO Protecting Layer / Structure Destruction / Recrystallization |
| 資料番号 | SDM2007-170 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2007/9/27(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プラズマディスプレイ用MgO保護膜の構造破壊ダイナミクスと理論設計(プロセス科学と新プロセス技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Destruction Dynamics and Theoretical Design of MgO Protecting Layer in Plasma Display Panel |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 分子動力学法 / Molecular Dynamics Method |
| キーワード(2)（和/英） | プラズマディスプレイ / Plasma Display |
| キーワード(3)（和/英） | MgO保護膜 / MgO Protecting Layer |
| キーワード(4)（和/英） | 構造破壊 / Structure Destruction |
| キーワード(5)（和/英） | 再結晶化 / Recrystallization |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 久保 百司 / Momoji KUBO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 芹澤 和実 / Kazumi SERIZAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 菊地 宏美 / Hiromi KIKUCHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 鈴木 愛 / Ai SUZUKI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | / 古山 通久 / Riadh SAHNOUN |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 坪井 秀行 / Michihisa KOYAMA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 畠山 望 / Hideyuki TSUBOI |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 遠藤 明 / Nozomu HATAKEYAMA |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 高羽 洋充 / Akira ENDOU |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | / 梶山 博司 / Hiromitsu TAKABA |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 篠田 傅 / CARPIO Carlos A. DEL |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Eng., Tohoku University |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 宮本 明 / Hiroshi KAJIYAMA |
| 第 12 著者 所属（和/英） | 広島大学大学院先端物質科学研究科 Graduate School of Adv. Sci. Matter, Hiroshima University |
| 発表年月日 | 2007-10-04 |
| 資料番号 | SDM2007-170 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 245 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 2 |
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