| 講演名 | 2007-08-02 集中定数型MEMS 5ビット移相器(電磁界理論及びマイクロ波関連技術,光・電波ワークショップ,マイクロ波フォトニクス技術,一般) 橘川 雄亮, 西野 有, 半谷 政毅, 李 相錫, 井上 博元, 吉田 幸久, 宮崎 守泰, |
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| 抄録(和) | 集中定数素子で構成された小形なMEMS 5ビット移相器を開発した.直列インダクタとMEMSスイッチを備えたシャントキャパシタからなる容量切替型移相器を新たに考案し,これを本移相器の下位2ビットに適用した.上位3ビットは,基準状態であるT型HPFと移相状態であるπ型LPFをMEMSスイッチで切替えるHPF/LPF切替型移相器を用いた.さらに,回路を構成する素子を,集中定数のインダクタおよびキャパシタで形成することで,小形化を実現した.試作した集中定数型MEMS 5ビット移相器は,13～15GHzにおいて,通過損失6.8dB以下,RMS移相量誤差8.2°以内の特性をチップサイズ5.1mm×12mm(6.12mm^2)で得ることができ,本構成の有用性が確認できた. |
| 抄録(英) | In this report, a lumped element type MEMS 5-bit phase shifter is described. This MEMS 5-bit phase shifter is composed of switched capacitor type phase shift circuits for lower two bit sections and high pass/low pass type phase shift circuits for higher three bit sections. To downsize the MEMS phase shifter, these phase shift circuits use the lumped element fabricated by micromachining process. The fabricated 5-bit phase shifter performs maximum insertion loss of 6.8dB and RMS phase shift error of 8.2 degrees with die size of 5.1mm×1.2mm(6.12mm^2) in Ku-band. |
| キーワード(和) | 移相器 / RF-MEMS |
| キーワード(英) | PHASE SHIFTER / RF-MEMS |
| 資料番号 | MW2007-57,OPE2007-44 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2007/7/26(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 集中定数型MEMS 5ビット移相器(電磁界理論及びマイクロ波関連技術,光・電波ワークショップ,マイクロ波フォトニクス技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Lumped element type MEMS 5-bit Phase Shifter |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 移相器 / PHASE SHIFTER |
| キーワード(2)（和/英） | RF-MEMS / RF-MEMS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 橘川 雄亮 / Yusuke KITSUKAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三菱電機 (株) 情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 西野 有 / Tamotsu NISHINO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 三菱電機 (株) 情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 半谷 政毅 / Masatake HANGAI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 三菱電機 (株) 情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 李 相錫 / Sang-Seok LEE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 三菱電機 (株) 先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Advanced Technology R&D Center |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 井上 博元 / Hiromoto INOUE |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 三菱電機 (株) 先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Advanced Technology R&D Center |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 吉田 幸久 / Yukihisa YOSHIDA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 三菱電機 (株) 先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Advanced Technology R&D Center |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 宮崎 守泰 / Moriyasu MIYAZAKI |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 三菱電機 (株) 情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 発表年月日 | 2007-08-02 |
| 資料番号 | MW2007-57,OPE2007-44 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 173 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |