| 講演名 | 1999/9/17 半導体関連信頼性研究の動向 : 第37回国際信頼性物理シンポジウム参加報告 下山 展弘, |
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| 抄録(和) | 1999年3月米国カリフォルニア州サンディエゴで開催された第37回国際信頼性物理シンポジウム(1999 IRPS/37th International Reliability Physics Symposium)で発表された論文の概要を紹介し、最近の半導体関連の信頼性研究の動向を知る一助とする。本シンポジウムは総合的な半導体LSI技術の信頼性に関する最新の研究成果を取り扱っており、本報告が信頼性のみならず半導体プロセス技術・設計技術に携わる研究者にとっても有益なものとなることを期待する。 |
| 抄録(英) | This paper presents the summary of papers reported at the 1999 IRPS (The 37th International Reliability Physics Symposium). These papers, including the total reliability of LSI technology, show the recent trend of the reliability technology. This paper will be useful not only to the reliability study but also the research and development of the LSI technology. |
| キーワード(和) | 信頼性 / 故障物理 / 半導体 |
| キーワード(英) | reliability / Failure physics / LSI |
| 資料番号 | R99-12 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
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| 開催期間 | 1999/9/17(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 半導体関連信頼性研究の動向 : 第37回国際信頼性物理シンポジウム参加報告 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Recent Trend of Reliability Study for Semiconductor Device Technology : A Report on the 37th IRPS |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 信頼性 / reliability |
| キーワード(2)（和/英） | 故障物理 / Failure physics |
| キーワード(3)（和/英） | 半導体 / LSI |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 下山 展弘 / Nobuhiro Shimoyama |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT生活環境研究所 NTT Lifestyle and Environmental Technology Laboratories |
| 発表年月日 | 1999/9/17 |
| 資料番号 | R99-12 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 307 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |