| 講演名 | 2007-08-10 Siバイメタルを利用した温度変化型可変容量コンデンサの試作・評価 鈴木 敦広, 原田 知親, 奥山 澄雄, 長沼 博, 松下 浩一, |
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| 抄録(和) | 近年,MEMSセンサの小型化が求められている.その小型化の方法として,MEMSと周辺回路を積層させ,小型化を図った圧力センサが報告されている,この技術を応用することで,従来より小型化した温度センサICが作製できれば,集積回路の省スペース化などに貢献できると考えられる.そこで本研究では,MEMSと周辺回路を積層させて作製する温度センサICの温度検知部分をMEMS部分で行うための基礎的研究として,SiとAlのバイメタルを利用した温度変化型可変容量コンデンサを提案・試作を行い,このコンデンサの温度変化に対する特性評価を行った.その結果,可動Siバイメタル部を形成したコンデンサは,形成しないコンデンサより温度上昇に対して顕著な容量上昇を示すことが分かった. |
| 抄録(英) | Recently, miniaturization of MEMS sensors are required in integrated circuits (IC) . As for a miniaturization method, it is reported that the pressure sensor is fabricated on its peripheral integrated circuits. By applying this technique to IC temperature sensors, we can achieve high-density device integration. In this study, as a fundamental study of miniaturized IC temperature sensors fabricated on peripheral integrated circuits, we present and fabricate the temperature controlled tunable capacitor using silicon and aluminum bimetal, and evaluate the temperature capacitance characteristics. As a result, it is shown that the capacitance with tunable silicon bimetal is more remarkable increased by increase of temperature than that without it. |
| キーワード(和) | シリコン / バイメタル / コンデンサ / 温度センサ |
| キーワード(英) | silicon / bimetal / capacitor / temperature sensor |
| 資料番号 | CPM2007-47 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2007/8/2(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Siバイメタルを利用した温度変化型可変容量コンデンサの試作・評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Implementation of Temperature Controlled Tunable Capacitor using Silicon Bimetal |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコン / silicon |
| キーワード(2)（和/英） | バイメタル / bimetal |
| キーワード(3)（和/英） | コンデンサ / capacitor |
| キーワード(4)（和/英） | 温度センサ / temperature sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鈴木 敦広 / Atsuhiro SUZUKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 原田 知親 / Tomochika HARADA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 奥山 澄雄 / Sumio OKUYAMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 長沼 博 / Hiroshi NAGANUMA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 松下 浩一 / Koichi MATSUSHITA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 発表年月日 | 2007-08-10 |
| 資料番号 | CPM2007-47 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 178 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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