| 講演名 | 2007/6/18 An In-plane 3-axis Inertial Measurement Unit with 16-bit Over-Sampled Capacitive Readout ASIC , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | A high performance inertial measurement unit (IMU) with fully differential, 16-bit over-sampled capacitive readout circuit is presented. The IMU can measure the x and y axis accelerations and z axis rotation. The MEMS sensing elements are fabricated using the sacrificial bulk micromachining (SBM) process. The sensor interface circuit is fabricated using a standard 0.18-μm CMOS process. The input capacitive amplifier adopts a fully-differential, chopper-stabilized switched capacitor (SC) architecture to obtain low noise characteristics. The output of input amplifier, modulated with the chopping frequency, is converted to a digital signal by 12-bit algorithmic analog-to-digital converter (ADC), to achieve a high resolution while maintaining a low power. The digital signal is demodulated in a digital demodulator, which removes non-ideal behaviors of a multiplier. The white-noise level of the demodulated signal is effectively reduced by a subsequent decimation filter, and then 16-bit acceleration and rotation signals are obtained. The SPI and I2C interface are integrated to enhance the user-connectivity. The fabricated system is applicable for automotive systems, such as electronic stability program (ESP). |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | MEMS / SBM / IMU / accelerometer / gyroscope |
| 資料番号 | ED2007-118,SDM2007-123 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2007/6/18(から1日開催) |
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| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | An In-plane 3-axis Inertial Measurement Unit with 16-bit Over-Sampled Capacitive Readout ASIC |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / MEMS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Taedong Ahn |
| 第 1 著者 所属（和/英） | SML Electronics, Inc. |
| 発表年月日 | 2007/6/18 |
| 資料番号 | ED2007-118,SDM2007-123 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 110 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |