| 講演名 | 2007/6/18 メモリ機能を有するシリコンTFTで制御されたフィールドエミッタアレイ(第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007)) 金丸 正剛, 長尾 昌善, |
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| 抄録(和) | 超高輝度フィールドエミッションディスプレイの電子源として、メモリ機能を有するポリシリコン薄膜トランジスタ(TFT)で制御されたフィールドエミッタアレイ(FEA)を開発した。製作したフィールドエミッタアレイにおいて、HfC薄膜を被覆することによるシリコンエミッタの長寿命化、アルゴンイオンエッチングとCHF_3プラズマエッチングを併用したエミッタ先鋭化プロセスの低温化、シリコンフィールドエミッタとポリシリコンTFTの集積化を実現し、電子放出のにおけるメモリ動作実証に成功した。 |
| 抄録(英) | A field emission array (FEA) that is controlled by a poly-silicon thin film transistor (TFT) with a memory function was developed for the application of an ultrahigh luminance field emission display. The fabricated FEA has the following features: a silicon emitter was covered with a HfC thin layer to exhibit a long lifetime. An apex of the emitter was sharpened with argon ion etching followed by CHF_3 plasma etching at low temperature. A Si FEA was integrated with a poly-Si TFT, and a memory operation of field emission was demonstrated successfully. |
| キーワード(和) | フィールドエミッタアレイ / フィールドエミッションディスプレイ / FED / ポリシリコンTFT |
| キーワード(英) | Field Emitter Array / Field Emission Display / FED / poly-silicon TFT |
| 資料番号 | ED2007-84,SDM2007-89 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2007/6/18(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | メモリ機能を有するシリコンTFTで制御されたフィールドエミッタアレイ(第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Silicon-TFT-based active-matrix field emitter arrays with a memory function |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フィールドエミッタアレイ / Field Emitter Array |
| キーワード(2)（和/英） | フィールドエミッションディスプレイ / Field Emission Display |
| キーワード(3)（和/英） | FED / FED |
| キーワード(4)（和/英） | ポリシリコンTFT / poly-silicon TFT |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 金丸 正剛 / Seigo Kanemaru |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 独立行政法人産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 長尾 昌善 / Masayoshi Nagao |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 独立行政法人産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 発表年月日 | 2007/6/18 |
| 資料番号 | ED2007-84,SDM2007-89 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 110 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |