講演名 2007/6/18
Study on characteristics of solution-processible inorganic dielectrics for pentacene thin film transistors
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抄録(和)
抄録(英) In this paper, we study on characteristics of organic thin-film transistors (OTFTs) using pentacene as an organic semiconductor with spun-on inorganic gate dielectrics. The organic gate dielectrics have been used for OTFTs because of solution-processibility, while the OTFTs with organic dielectrics have the electrical problems. Therefore, we fabricated pentacene transistors with solution-processible inorganic-organic gate dielectrics structure, successively measured the surface properties and electrical characteristics according to different gate dielectric materials. We achieved that the inorganic dielectrics were formed solution-processible methyl siloxane-based spin-on-glass (SOG) film has a potential for OTFTs as gate dielectric materials.
キーワード(和)
キーワード(英) Organic thin-film transistors / Soluble-process / Spin-on-glass / Poly-4-vinylphenol
資料番号 ED2007-128,SDM2007-133
発行日

研究会情報
研究会 SDM
開催期間 2007/6/18(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Silicon Device and Materials (SDM)
本文の言語 ENG
タイトル(和)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Study on characteristics of solution-processible inorganic dielectrics for pentacene thin film transistors
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) / Organic thin-film transistors
第 1 著者 氏名(和/英) / Sangil SHIN
第 1 著者 所属(和/英)
Display and Nanosystem Laboratory, College of Engineering, Korea University
発表年月日 2007/6/18
資料番号 ED2007-128,SDM2007-133
巻番号(vol) vol.107
号番号(no) 111
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日