| 講演名 | 2007/5/17 TiO_2:TiN混合ターゲットを用いたスパッタリングによるN添加TiO_2薄膜の作製(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 矢崎 達也, 永田 貴章, 高橋 崇宏, 江間 義則, |
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| 抄録(和) | TiO_2とTiNの粉末混合ターゲットを用いて、スパッタリング法でN添加アナターゼ型TiO_2薄膜を作製した。TiO_2に対するTiNの比率として、4/10、1/10、1/50のターゲットを用い、スパッタリング電力、圧力、基板温度を変えて成膜し、その結晶性等をX線回折、分光透過率、AFM等により調べた。スパッタリング電力が150W以上で多結晶N添加TiO_2膜が得られた。N添加により可視域での吸収が認められた。TiNの混合比が1/50の試料では、膜中のN量は約4%であり、アナターゼ型TiO_2(004)配向が優勢となった。基板温度が300℃と高い試料でルチル型TiO_2が認められた。水の接触角測定、メチルレッドメチレンブルー溶液の分解より、光触媒性を確認できた。 |
| 抄録(英) | N-doped anatase TiO_2 thin films have been formed by sputtering using TiO_2:TiN target on Corning 1737 glass. Structural properties of the films were measured by X-ray diffraction, transmittance and AFM etc. N-doped TiO_2 films were obtained on the condition over 150W sputtering power. These films show absorption in the visible light region. Rutile-type structure was mixed in the films preparde at 300℃ substrate temperature. Photo catalytic properties were observed by the contact angle of water and the degradation of methyl redmethylene blue solution. |
| キーワード(和) | TiO_2 / TiN / スパッタリング法 / N添加アナターゼ型TiO_2 / 光触媒 |
| キーワード(英) | TiO_2 / TiN / N-doped TiO_2 / photo catalytic properties / anatase TiO_2 |
| 資料番号 | ED2007-27,CPM2007-26,SDM2007-27 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2007/5/17(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | TiO_2:TiN混合ターゲットを用いたスパッタリングによるN添加TiO_2薄膜の作製(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of N-doped TiO_2 Thin Films by Sputtering Using TiO_2 : TiN Mixed Target |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | TiO_2 / TiO_2 |
| キーワード(2)（和/英） | TiN / TiN |
| キーワード(3)（和/英） | スパッタリング法 / N-doped TiO_2 |
| キーワード(4)（和/英） | N添加アナターゼ型TiO_2 / photo catalytic properties |
| キーワード(5)（和/英） | 光触媒 / anatase TiO_2 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 矢崎 達也 / Tatsuya YAZAKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 永田 貴章 / Takaaki NAGATA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 高橋 崇宏 / Takahiro TAKAHASHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 江間 義則 / Yoshinori EMA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2007/5/17 |
| 資料番号 | ED2007-27,CPM2007-26,SDM2007-27 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 56 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |