| 講演名 | 2007/5/17 スパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜の生成(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 以西 雅章, 中村 功一, 長南 祐史, 細川 貴之, |
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| 抄録(和) | Li二次電池用の正極物質として、Mn酸化物が注目されている。そこで材料費が安く、環境への影響も少ないという点から、スパッタリング法によるMn酸化物薄膜の生成を目指した。本研究では、充、放電の際にLiの挿入、離脱に柔構造なLiを含んだMn酸化物薄膜(LiMn_2O_4)を生成し、熱処理による結晶特性の向上を試みた。その結果、生成した薄膜は熱処理(アニール)を行うことで結晶特性が向上することがわかった。 |
| 抄録(英) | Manganese oxides have been focused as a cathode material in the Li secondary batteries. Preparation of LiMn_2O_4 thin films were tried with a sputtering method. This metarial was focused from the cost performance and environmental problems. The crystal properties were improved after annealing process. The preparation procedure is introduced through this study. |
| キーワード(和) | Li二次電池 / マンガン酸化物薄膜 / Li-Mn欠陥スピネル構造 / スパッタリング法 / アニール |
| キーワード(英) | Li secondary batteries / Manganese oxide films / Li-Mn defect spinel structure / sputtering method / rapid thermal annealing |
| 資料番号 | ED2007-26,CPM2007-25,SDM2007-26 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2007/5/17(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | スパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜の生成(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of LiMn_2O_4 films by sputtering method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Li二次電池 / Li secondary batteries |
| キーワード(2)（和/英） | マンガン酸化物薄膜 / Manganese oxide films |
| キーワード(3)（和/英） | Li-Mn欠陥スピネル構造 / Li-Mn defect spinel structure |
| キーワード(4)（和/英） | スパッタリング法 / sputtering method |
| キーワード(5)（和/英） | アニール / rapid thermal annealing |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中村 功一 / Koichi Nakamura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 長南 祐史 / Yuji Chonan |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学理工学研究科 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 細川 貴之 / Takayuki Hosokawa |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2007/5/17 |
| 資料番号 | ED2007-26,CPM2007-25,SDM2007-26 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 56 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |