講演名 2007/5/17
電気化学堆積法によるSnO_2薄膜の作製(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
王 俊, 市村 正也,
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抄録(和) 電気化学堆積(ECD)法は安価な装置で薄膜の作製が可能であり、太陽電池作製の低コスト化が期待できる。我々は太陽電池の窓層や色素増感太陽電池として利用できるSnO_2薄膜を室温で堆積する実験を行った。ECD方法によるSnO_2薄膜の作製は今まであまり研究されていない。我々は硫酸スズ30mMを含む水溶液を用い、堆積中に酸素ガスをパブリングすることによって、室温において低いpH値(0.2~0.6)領域でSnO_2の透明な薄膜の堆積に成功した。また溶液の攪拌およびパルス電圧印加の影響も調べた。光電気化学測定より、堆積した薄膜はn型であり、光導電性を持つことを確認できた。
抄録(英) The electrochemical deposition (ECD) method is promising for producing solar cells at low cost. We deposited SnO_2 thin films by ECD at room temperature. SnO_2 can be used as a window layer of the heterojunction cells and also for the dye-sensitization solar cells. Using an aqueous solution containing SnSO_4with pH lowered to 0.4 by HNO_3, we succeeded in deposition of SnO_2 thin films at room temperature. By blowing O_2 into the solution, transparent films were obtained. The film thickness was increased by stirring of the solution. From the photo-electrochemical measurement, we confirmed that the films have n-type conduction and photosensitivity.
キーワード(和) 電気化学堆積法(ECD) / SnO_2 / 太陽電池
キーワード(英) electrochemical deposition(ECD) / SnO_2 / solar cell
資料番号 ED2007-20,CPM2007-19,SDM2007-20
発行日

研究会情報
研究会 SDM
開催期間 2007/5/17(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Silicon Device and Materials (SDM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 電気化学堆積法によるSnO_2薄膜の作製(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
サブタイトル(和)
タイトル(英) Fabrication of SnO_2 thin films by the electrochemical deposition method
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 電気化学堆積法(ECD) / electrochemical deposition(ECD)
キーワード(2)(和/英) SnO_2 / SnO_2
キーワード(3)(和/英) 太陽電池 / solar cell
第 1 著者 氏名(和/英) 王 俊 / Jun Wang
第 1 著者 所属(和/英) 名古屋工業大学機能工学専攻
Dept. Eng. Phys., Electronics, Mech., Nagoya Institute of Technology
第 2 著者 氏名(和/英) 市村 正也 / M. Ichimura
第 2 著者 所属(和/英) 名古屋工業大学機能工学専攻
Dept. Eng. Phys., Electronics, Mech., Nagoya Institute of Technology
発表年月日 2007/5/17
資料番号 ED2007-20,CPM2007-19,SDM2007-20
巻番号(vol) vol.107
号番号(no) 56
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日