| 講演名 | 2007/5/17 Eu添加AlGaNの光学利得の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 若原 昭浩, 岡田 浩, 河合 洋明, 下條 貴史, |
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| 抄録(和) | 希土類イオンからの発光を利用した光増幅可能な導波路の実現のため,Eu添加AlGaN光導波路を試作した。AlN/α-sapphire上に有機金属気相成長(MOVPE)法で成長したAlGaN層に,Euをイオン注入によって添加し,これを誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング(ICP-RIE)によって導波路構造に加工した.光学特性の評価は,フォトルミネッセンス(PL)法,光学利得gおよび伝搬損失αを調べ,Al_<0.13>Ga_<0.87>N:Euについて,623nmにおける室温での光学利得および伝搬損失が,それぞれg=124[cm^<-1>],α=7[cm^<-1>]となり,良好な値が得られた。 |
| 抄録(英) | We made an optical wave-guide with En doped AlGaN to realize an optical amplifier that use the luminescence from rare earths. Eu was implanted into AlGaN grown with metal organic vapor phase epitaxy (OMVPE). The optical wave guide structure was fabricated by inductive coupled plasma reactive ion etching (ICP-RIE). Optical gain and loss on Al_<0.13> Ga_<0.87> N: Eu in room temperature (RT) at 623nm are 124cm^<-1> and 7cm^<-1>, respectively. The dependence of optical gain on Al composition in AlGaN was investigated. |
| キーワード(和) | AlGaN / Eu / 希土類 / 導波路 / 光学利得 / VSL法 / SES法 |
| キーワード(英) | AlGaN / Eu / rare earth / wave-guide / optical gain / VSL / SES |
| 資料番号 | ED2007-18,CPM2007-17,SDM2007-18 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2007/5/17(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Eu添加AlGaNの光学利得の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluations for optical gain of Eu doped AlGaN |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | AlGaN / AlGaN |
| キーワード(2)（和/英） | Eu / Eu |
| キーワード(3)（和/英） | 希土類 / rare earth |
| キーワード(4)（和/英） | 導波路 / wave-guide |
| キーワード(5)（和/英） | 光学利得 / optical gain |
| キーワード(6)（和/英） | VSL法 / VSL |
| キーワード(7)（和/英） | SES法 / SES |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 若原 昭浩 / Akihiro WAKAHARA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学工学部 Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岡田 浩 / Hiroshi OKADA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学工学部 Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 河合 洋明 / Hiroaki KAWAI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学工学部 Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 下條 貴史 / Takashi SHIMOJO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学工学部 Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology |
| 発表年月日 | 2007/5/17 |
| 資料番号 | ED2007-18,CPM2007-17,SDM2007-18 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 56 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |