講演名 | 2007/5/17 青色EL素子用SrS:Cu薄膜の結晶特性の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 以西 雅章, 堀野 友良, 倉地 雄史, |
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抄録(和) | 青色発光EL素子の高輝度化を目的として、電子線蒸着法によりSrS:Cu薄膜を生成した。SrS:Cu粉末を錠剤状に成型して蒸発物とした。本研究では、錠剤の焼成条件と生成したSrS:Cu薄膜の結晶特性の相関を調べた。その結果、600℃、2時間の焼成により、優れた薄膜が生成できることが分かった。 |
抄録(英) | SrS:Cu films were prepared by an electron beam deposition method to improve the emission properties of blue EL elements. SrS:Cu pellets were used as an evaporant of SrS:Cu films. The correlation between sintering condition and crystallinity of SrS:Cu films was investigated. As a result, it was found that the 2-hour sintering under 600℃ was best to prepare superior SrS:Cu films. It was also found that crystallinity of SrS:Cu films were greatly improved after a rapid annealing of 2-min under 450℃. |
キーワード(和) | 青色EL素子 / SrS:Cu薄膜 / 急速熱処理 |
キーワード(英) | Blue EL elements / SrS:Cu films / Rapid thermal annealing |
資料番号 | ED2007-15,CPM2007-14,SDM2007-15 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | SDM |
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開催期間 | 2007/5/17(から1日開催) |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 青色EL素子用SrS:Cu薄膜の結晶特性の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Evaluation of crystallinity of SrS:Cu films for blue EL elements |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 青色EL素子 / Blue EL elements |
キーワード(2)(和/英) | SrS:Cu薄膜 / SrS:Cu films |
キーワード(3)(和/英) | 急速熱処理 / Rapid thermal annealing |
第 1 著者 氏名(和/英) | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
第 1 著者 所属(和/英) | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 堀野 友良 / Tomoyosi Horino |
第 2 著者 所属(和/英) | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 倉地 雄史 / Yuji Kurachi |
第 3 著者 所属(和/英) | 静岡大学理工学研究科 Graduate School of Science & Engineering, Shizuoka University |
発表年月日 | 2007/5/17 |
資料番号 | ED2007-15,CPM2007-14,SDM2007-15 |
巻番号(vol) | vol.107 |
号番号(no) | 56 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 6 |
発行日 |