| 講演名 | 2007/5/17 MOVPE法による厚膜CdTe層を用いた大面積X線・γ線画像検出器に関する研究(I)(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 大村 翔洋, 中村 公二, 田中 龍一, 安形 保則, ニラウラ マダン, 安田 和人, |
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| 抄録(和) | MOVPE法によりSi基板上に成長した厚膜CdTe成長層を用いた大面積X線γ線画像検出器の開発を目的として研究を行っている。これまでの研究で,Si基板に成長前処理として減圧水素雰囲気中で,GaAs片とともにアニールする事で,単結晶CdTe層が得られることが分かっている。しかし,成長層の膜厚が50μmを超えると剥離する問題があった。そこで,成長前処理の最適化,成長法の改善を行った結果,上記の問題を解決し結晶性の良い厚膜CdTe成長堀(100μm以上)が得られるようになったため報告する。 |
| 抄録(英) | MOVPE growth of thick CdTe layers for the application in x-ray, γ-ray detectors has been studied. As reported earlier we reported, pretreatment of Si-substrate, carried out by annealing it with pieces of GaAs, was necessary for achieving direct growth of CdTe layers on Si. However, thicker epilayer(>50μm) exhibited poor substrate adhesion. By optimizing substrate pre-treatment condition, and with careful control of growth parameter, high quality thick epilayer of thickness greater then 100μm were achieved, and are reported here. |
| キーワード(和) | MOVPE / X線γ線検出器 / 厚膜CdTe / Si基板 |
| キーワード(英) | MOVPE / X- and γ-ray detector / thick CdTe layers / Si substrate |
| 資料番号 | ED2007-10,CPM2007-9,SDM2007-10 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2007/5/17(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MOVPE法による厚膜CdTe層を用いた大面積X線・γ線画像検出器に関する研究(I)(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of large-area X-ray and γ-ray imaging detectors using thick CdTe layer grown by MOVPE(I) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MOVPE / MOVPE |
| キーワード(2)（和/英） | X線γ線検出器 / X- and γ-ray detector |
| キーワード(3)（和/英） | 厚膜CdTe / thick CdTe layers |
| キーワード(4)（和/英） | Si基板 / Si substrate |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大村 翔洋 / Motohiro Omura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学機能工学専攻 Department of Engineering Physics, Electronics and Mechanics, Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中村 公二 / Koji Nakamura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学機能工学専攻 Department of Engineering Physics, Electronics and Mechanics, Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 田中 龍一 / Ryuichi Tanaka |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学機能工学専攻 Department of Engineering Physics, Electronics and Mechanics, Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 安形 保則 / Yasunori Agata |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学機能工学専攻 Department of Engineering Physics, Electronics and Mechanics, Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | ニラウラ マダン / Madan Niraula |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学機能工学専攻 Department of Engineering Physics, Electronics and Mechanics, Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 安田 和人 / Kazuhito Yasuda |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学機能工学専攻 Department of Engineering Physics, Electronics and Mechanics, Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2007/5/17 |
| 資料番号 | ED2007-10,CPM2007-9,SDM2007-10 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 56 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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