| 講演名 | 2007/5/17 Influence of the thickness on β-Ga_2O_3 Oxygen Gas Sensor at High Temperature , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | β-Ga_2O_3 thin films sensors in a sandwich structure with various thicknesses of 380 nm to 1250 nm approximately by sputtering technique. The oxygen sensing characteristics were evaluated as a function of film thickness in N_2/O_2 gas stream mixture at high temperature, 1000℃. The electrical resistance of thin films was increased rnonotonicaily with an increasing film thickness. It was found that both the response time and sensitivity of β-Ga_2O_3 sensors to oxygen gas were decreasing when film thickness decreased. The relationship between gas sensing properties and film thickness was discussed on the basis of oxygen gas reactivity on the film surface and inside the oxide films at 1000℃. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | gallium oxide / oxygen sensor / sensitivity / high temperature |
| 資料番号 | ED2007-9,CPM2007-8,SDM2007-9 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2007/5/17(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Influence of the thickness on β-Ga_2O_3 Oxygen Gas Sensor at High Temperature |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / gallium oxide |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Marilena Bartic |
| 第 1 著者 所属（和/英） | GSEST of Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2007/5/17 |
| 資料番号 | ED2007-9,CPM2007-8,SDM2007-9 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 55 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |