| 講演名 | 2007-05-21 放射光を利用したテフロンの直接加工とミリ波テフロン導波管の試作 : 1.5GeV放射光施設「ニュースバル」のビームラインBL2による(マイクロ波技術一般) 岸原 充佳, 浮田 芳昭, 山本 成明, 内海 裕一, 太田 勲, |
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| 抄録(和) | 近年,レーザ加工やリソグラフィなどの微細加工技術を活用してマイクロデバイスを実現しようとする研究が盛んである.広くマイクロ波・ミリ波材料としても利用されているテフロン(PTFE)は,良好な絶縁性のため放電加工も適さず,赤外や紫外のレーザ加工も困難である.しかし,放射光を用いれば,厚み1mm以上のテフロンを直接加工(エッチング)できることが知られている.本報告では,放射光を利用したテフロンの直接加工を行い,表面に金属を蒸着させることで導波管構造の形成を試みている. |
| 抄録(英) | Microdevices have recently been developed by various micromachining technologies such as laser cutting, lithography, etc. is widely used as a microwave and millimeter-wave material. However, it is known that PTFE is too difficult to cut with high precision by conventional machining, or even by laser cutting or electrical discharge machining. It has been reported that PTFE microstructures can be fabricated by direct exposure to synchrotron radiation. In this paper, the SR direct etching of PTFE is introduced and a trial fabrication of millimeter-wave PTFE waveguide by sputter deposition of metal is attempted. |
| キーワード(和) | ミリ波 / 導波管 / 放射光エッチング / 導波管ベンド / マイクロデバイス |
| キーワード(英) | Millimeter-wave / Waveguide / SR etching / Waveguide bend / Microdevice |
| 資料番号 | MW2007-15 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
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| 開催期間 | 2007/5/14(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Microwaves (MW) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 放射光を利用したテフロンの直接加工とミリ波テフロン導波管の試作 : 1.5GeV放射光施設「ニュースバル」のビームラインBL2による(マイクロ波技術一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | SR Direct Etching of PTFE and Fabrication of Millimeter-Wave PTFE Waveguide : Utilizing Beam Line, BL2 of 1.5 Gev Synchrotron Facility "New SUBARU" |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ミリ波 / Millimeter-wave |
| キーワード(2)（和/英） | 導波管 / Waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | 放射光エッチング / SR etching |
| キーワード(4)（和/英） | 導波管ベンド / Waveguide bend |
| キーワード(5)（和/英） | マイクロデバイス / Microdevice |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岸原 充佳 / Mitsuyoshi KISHIHARA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 岡山県立大学情報工学部 Faculty of Computer Science & System Engineering, Okayama Prefectural University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 浮田 芳昭 / Yoshiaki UKITA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 Faculty of Computer Science & System Engineering, Okayama Prefectural University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山本 成明 / Shigeaki YAMAMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 内海 裕一 / Yuichi UTSUMI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 太田 勲 / Isao OHTA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, University of Hyogo |
| 発表年月日 | 2007-05-21 |
| 資料番号 | MW2007-15 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 49 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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