| 講演名 | 2007-05-25 Siの選択酸化プロセスを用いたSi細線光導波路の作製(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) 飯山 宏一, 浅井 覚詞, 若島 誠寛, |
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| 抄録(和) | Si細線光導波炉の伝播損失低減を目指して、選択酸化法による作製と評価について報告する。Si細線光導波路は通常、クラッドとなる部分のSiをエッチングすることにより形成されるが、本方法は、コアとなる部分のSi上部に酸化防止膜を形成し、クラッドとなる部分のSiのみ選択的に酸化する。酸化は等方的であるので、酸化防止膜のパターニング側面の荒れの影響は緩和され、伝搬損失の低減が期待できる。幅3μmの酸化防止膜を用いて多モード光導波路を作製したところ、エッチングにより作製された同じ幅の光導波路と比べて4dBの伝搬損失の低減が確認できた。 |
| 抄録(英) | Si photonic wire waveguides are fabricated by selective oxidation of Si. A SOI wafer on which a 3 μm-wide Si_3N_4 film is formed is oxidized. The Si under the Si_3N_4 film is not oxidized and works as a core, and the Si without the Si_3N_4 film is oxidized and works as a clad. The roughness at the core/clad interface is smoothed while the oxidation process, and then the propagation loss is reduced. The resultant waveguide is multimode, and the propagation loss is decreased by 4 dB as compared to the conventional fabrication process. |
| キーワード(和) | 光導波路 / Si細線光導波路 / 選択酸化 / 伝搬損失 |
| キーワード(英) | Optical waveguide / Si photonic wire waveguide / Selective oxidation / Propagation loss |
| 資料番号 | LQE2007-15 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2007/5/18(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Siの選択酸化プロセスを用いたSi細線光導波路の作製(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Si Photonic Wire Waveguide by Selective Oxidation of Si |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光導波路 / Optical waveguide |
| キーワード(2)（和/英） | Si細線光導波路 / Si photonic wire waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | 選択酸化 / Selective oxidation |
| キーワード(4)（和/英） | 伝搬損失 / Propagation loss |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 飯山 宏一 / Koichi IIYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 金沢大学大学院自然科学研究科 Graduate School of Natural Science & Technology, Kanazawa Univserity |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 浅井 覚詞 / Satoshi ASAI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 金沢大学大学院自然科学研究科 Graduate School of Natural Science & Technology, Kanazawa Univserity |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 若島 誠寛 / Masahiro WAKASHIMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 金沢大学大学院 Faculty of Engineering, Kanazawa Univserity |
| 発表年月日 | 2007-05-25 |
| 資料番号 | LQE2007-15 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 71 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |