| 講演名 | 2007-05-25 ハイブリッド光センサーによる表面変位測定の自己較正(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) 橋爪 慎哉, 高 〓, 上月 具挙, 石川 和彦, 菅 博, 桜井 哲真, 上田 正紘, |
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| 抄録(和) | 表面形状を高解像度かつ高レンジで測定し得る光学的システムを開発した.システムは測定面からの反射光を用いたnm測定システムと散乱光を用いたμm測定システムのハイブリツド構造となっている.さらに,両システムで同一点を測定(同軸化)することにより,自己較正が可能な構造となっている.また,同軸化が測定値にもたらす影響は較正曲線を利用することによって全く問題にならないものであり,本システムの測定解像度はサブnm,測定レンジは約±0.3mmが期待できる. |
| 抄録(英) | A hybrid optical sensor for measuring surface displacement has been proposed by means of laser reflection and laser scattering. Two main subsystems are incorporated in a body; i.e., it is a hybrid system, with one subsystem based on a laser reflection and used for μm measurement, and the other based on an imaging of the irradiated portion and used for nm measurement. Both subsystems have the same optical axis, which results in a co-axial system. The system can then measure surface displacement at a point, which enables self-correction. Both subsystems hardly affects the measurement each other. The spatial resolution of this hybrid system is between sub-nm and 0.3mm. |
| キーワード(和) | リアルタイム測定 / 表面うねり / 表面粗さ / 反射光 / 散乱光 / 自己較正 |
| キーワード(英) | Hybrid optical sensor / Surface displacement / Co-axial system / Self-correction |
| 資料番号 | LQE2007-13 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2007/5/18(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ハイブリッド光センサーによる表面変位測定の自己較正(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Self-correction for the Surface Displacement Measurement by Means of Hybrid Optical Sensor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | リアルタイム測定 / Hybrid optical sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 表面うねり / Surface displacement |
| キーワード(3)（和/英） | 表面粗さ / Co-axial system |
| キーワード(4)（和/英） | 反射光 / Self-correction |
| キーワード(5)（和/英） | 散乱光 |
| キーワード(6)（和/英） | 自己較正 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 橋爪 慎哉 / Sinya HASHIZUME |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (株)北計工業 Hokkei Industries Co. Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 高 〓 / Qi GAO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 福井大学教育地域科学部 Faculty of Education and Regional Studies, University of Fukui |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 上月 具挙 / Tomotaka KOZUKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 広島国際大学工学部 Faculty of Engineering, Hiroshima International University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 石川 和彦 / Kazuhiko ISHIKAWA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 福井大学教育地域科学部 Faculty of Education and Regional Studies, University of Fukui |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 菅 博 / Hiroshi SUGA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 広島国際大学工学部 Faculty of Engineering, Hiroshima International University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 桜井 哲真 / Tetsuma SAKURAI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 福井大学工学部 Fiber Amenity Engineering, Faculty of Engineering, University of Fukui |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 上田 正紘 / Masahiro UEDA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 福井大学教育地域科学部 Faculty of Education and Regional Studies, University of Fukui |
| 発表年月日 | 2007-05-25 |
| 資料番号 | LQE2007-13 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 71 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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