| 講演名 | 2007/5/23 ダイヤモンド単結晶の基礎音響特性および格子定数測定(非線形・一般) 櫛引 淳一, 大橋 雄二, 荒川 元孝, 獅子谷 卓, 杢野 由明, 茶谷原 昭義, 鹿田 真一, |
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| 抄録(和) | 高温高圧(HPHT)法により作製されたType Ibの(100)ダイヤモンド基板上にマイクロ波プラズマ(MP)CVD法を繰り返し適用することで育成したダイヤモンド単結晶に対して基礎音響特性および格子定数の測定を通して評価を行なった。格子定数は、HPHT基板に比べてMPCVD基板の方が小さく、その差は約0.0013%であった。また、HPHT種基板部も含めたMPCVD成長断面において、最大で0.0018%の格子定数変動を示した。透過X線トポグラフィ像やロッキングカーブのピーク強度・半値幅との比較から、MPCVD成長の前半は格子の完全性が高く、後半にはそれが低下することを示した。一方、直線集束ビーム超音波材料解析システムによる漏洩弾性表面波(LSAW)速度の測定においては、HPHT基板とMPCVD基板の間に明確な差は検出されなかった。また、MPCVD成長軸方向においては、測定精度(±2σ=±0.049%, σは標準偏差)よりも大きな分布が検出されたものの、格子定数の結果とは異なり速度プロファイルはほぼ平坦であった。 |
| 抄録(英) | Evaluations of diamond single crystals grown by repetition of the microwave plasma (MP) CVD method on seed (100)-diamond substrates (Type 1b) which were synthesized by the high-pressure/high-temperature (HPHT) method were conducted through measurements of basic acoustic properties and lattice constant. The lattice constant for the MPCVD substrate is smaller than that of the HPHT substrate by about 0.0013%. On the cross section of the MPCVD growth surface including the HPHT seed substrate, the lattice constant exhibits the maximum variation of 0.0018% along the growth direction. From comparison of transmission X-ray topography and peak intensity/full width at half maximum of rocking curves, it is pointed out that the lattice perfection is high at the beginning of the MPCVD growth and becomes low at the latter half of the growth. In measurements of leaky surface acoustic wave (LSAW) velocity using the line-focus-beam ultrasonic material characterization system, on the other hand, no differences can be detected between the HPHT and the MPCVD substrates. Along the MPCVD growth direction, the velocity profile is almost flat being not like the results in the lattice constant although the velocity variations larger than the measurement accuracy (±2σ=±0.049%, σ: standard deviation) are detected. |
| キーワード(和) | ダイヤモンド / マイクロ波プラズマCVD法 / 高温高圧法 / 直線集束ビーム超音波材料解析システム / 漏洩弾性表面波速度 / 格子定数 / Bond法 |
| キーワード(英) | diamond / microwave plasma CVD / high-pressure/high-temperature method / line-focus-beam ultrasonic material characterization system / leaky surface acoustic wave velocity / lattice constant / Bond method |
| 資料番号 | US2007-13 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2007/5/23(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ダイヤモンド単結晶の基礎音響特性および格子定数測定(非線形・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Measurements of Basic Acoustical Properties and Lattice Constants for Diamond Single Crystals |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダイヤモンド / diamond |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロ波プラズマCVD法 / microwave plasma CVD |
| キーワード(3)（和/英） | 高温高圧法 / high-pressure/high-temperature method |
| キーワード(4)（和/英） | 直線集束ビーム超音波材料解析システム / line-focus-beam ultrasonic material characterization system |
| キーワード(5)（和/英） | 漏洩弾性表面波速度 / leaky surface acoustic wave velocity |
| キーワード(6)（和/英） | 格子定数 / lattice constant |
| キーワード(7)（和/英） | Bond法 / Bond method |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi KUSHIBIKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大橋 雄二 / Yuji OHASHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 荒川 元孝 / Mototaka ARAKAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 獅子谷 卓 / Takashi SHISHITANI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 杢野 由明 / Yoshiaki MOKUNO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター Diamond Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 茶谷原 昭義 / Akiyoshi CHAYAHARA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター Diamond Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 鹿田 真一 / Shinichi SHIKATA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター Diamond Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 発表年月日 | 2007/5/23 |
| 資料番号 | US2007-13 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 75 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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