| 講演名 | 2007-04-12 バルク型サイリスタを用いた高速動作SRAMセルの開発(新メモリ技術とシステムLSI) 杉崎 太郎, 中村 元昭, 柳田 将志, 本田 元就, 篠原 光子, 生田 哲也, 大地 朋和, 釘宮 克尚, 山本 亮, 神田 さおり, 山村 育弘, 屋上 公二郎, 小田 達治, |
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| 抄録(和) | 65nm世代以降、最も一般的に用いら手いる6T-SRAMは多くの問題に直面している。そこで、我々は6T-SRAMに代わるSRAMを検討している。今回、バルクシリコンウエハーを用いて、サイリスタをSRAM(Static Random Access Memory)セルに応用することを試みた。このBulk Thyristor-RAM(BT-RAM)は、バルクシリコンウエハーを用いているために、コストを抑えることができる上に混載デバイスとの相性もよい。さらに100psの高速書き込み/読み出しが可能、オン電流とオフ電流の比が10^8以上、スタンバイ電流が0.5nA/cell以下と非常に良好な特性を示した。また、アノード領域に選択エピタキシャル技術を用いることで、理想セルサイズも30F^2(Fはデサインルール)と従来型の6T-SRAMの約1/4のサイズになっている。このようにBT-RAMは現在SRAMの直面している問題を解決し、65nm世代以降に有望なデバイスであることがわかった。 |
| 抄録(英) | We have successfully developed an alternative SRAM cell usign Bulk Thyristor-RAM (BT-RAM) for the first time. BT-RAM, formed on bulk Si wafers, is low cost and has good compatibility with logic process flows. BT-RAM has excellent performance, with a 100-ps read/write at 1.5 V, high I_ |
| キーワード(和) | サイリスタ / バルクサイリスタRAM / SRAM / 選択エピタキシャル |
| キーワード(英) | Thyristor / Bulk Thyristor-RAM / SRAM / Selective Epitaxy |
| 資料番号 | ICD2007-9 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2007/4/5(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | バルク型サイリスタを用いた高速動作SRAMセルの開発(新メモリ技術とシステムLSI) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High-speed Operation SRAM cell using Bulk-type Thyristor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | サイリスタ / Thyristor |
| キーワード(2)（和/英） | バルクサイリスタRAM / Bulk Thyristor-RAM |
| キーワード(3)（和/英） | SRAM / SRAM |
| キーワード(4)（和/英） | 選択エピタキシャル / Selective Epitaxy |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 杉崎 太郎 / Taro SUGISAKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中村 元昭 / Motoaki NAKAMURA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 柳田 将志 / Masashi YANAGITA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 本田 元就 / Motonari HONDA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 篠原 光子 / Mitsuko SHINOHARA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 生田 哲也 / Tetsuya IKUTA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 大地 朋和 / Tomokazu OHCHI |
| 第 7 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 釘宮 克尚 / Katsuhisa KUGIMIYA |
| 第 8 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 山本 亮 / Ryo YAMAMOTO |
| 第 9 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 神田 さおり / Saori KANDA |
| 第 10 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 山村 育弘 / Ikuhiro YAMAMURA |
| 第 11 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 屋上 公二郎 / Kojiro YAGAMI |
| 第 12 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 第 13 著者 氏名（和/英） | 小田 達治 / Tatsuji ODA |
| 第 13 著者 所属（和/英） | ソニー株式会社 Sony Corporation |
| 発表年月日 | 2007-04-12 |
| 資料番号 | ICD2007-9 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 1 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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