| 講演名 | 2007-03-07 シールドつきMIMキャパシタに対する鏡像効果を考慮したスケーラブルモデル(無線/画像処理,システムオンシリコン設計技術並びにこれを活用したVLSI) 石橋 浩二, 藤島 実, |
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| 抄録(和) | 現在オンチップ櫛形容量において、実測に基づくモデルが報告されている。しかし、スケーラブルなモデルとなっていない、ミリ波、準ミリ波まで対応していないといった問題点がある。そこで、本研究では高周波での櫛形容量のスケーラブルモデルを実現すべく、鏡像効果の考慮を考慮したキャパシタンス見積もり式を適用した。また、差動信号に対する基板抵抗の影響を低減させるためにフローティングシールドを提案した。その結果、CMOS 90nm 1P9M プロセスを用いて試作されたシールド付き櫛形キャパシタに対し、透過特性のRMS誤差7%以内、反射特性のRMS誤差5%以内の高周波スケーラブルモデルを実現することができた。また、フローティングシールドをつけることで従来の櫛形容量と比較し、30-110GHzにおいて差動信号に対するQ値が20%向上することを電磁界シミュレーションから確認した。 |
| 抄録(英) | The comb capacitor models based on the measurement is reported. However, there are a problem of not scalable model and not corresponding to the millimeter weve and the sub millimeter wave. In this paper, in order to realize high frequency comb capacitor's scalable model, hte capacitance estimation type that considered the effect of the mirror image was applied. In addition, to decrease the influence of the substrate resistance, floating shield is proposed. As a results, in 90nm 1P9M process the RMS error rations of the penetration characteristic and the reflection characteristic are within 7% and 5%. In addition it was confirmed that Q value to the differential signal improved by 20% at 30-110 GHz by applying the floating shield compared with a conventional capacitors with the electromagnetic simulation. |
| キーワード(和) | 櫛形容量 / スケーラブルモデル / ミリ波 / CMOS |
| キーワード(英) | Comb Capacitor / Scalable Model / Millimeter Wave / CMOS |
| 資料番号 | VLD2006-107,ICD2006-198 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD |
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| 開催期間 | 2007/2/28(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | VLSI Design Technologies (VLD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シールドつきMIMキャパシタに対する鏡像効果を考慮したスケーラブルモデル(無線/画像処理,システムオンシリコン設計技術並びにこれを活用したVLSI) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Scalable Model of Shielded Capacitors using Mirror Image Effects |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 櫛形容量 / Comb Capacitor |
| キーワード(2)（和/英） | スケーラブルモデル / Scalable Model |
| キーワード(3)（和/英） | ミリ波 / Millimeter Wave |
| キーワード(4)（和/英） | CMOS / CMOS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石橋 浩二 / Koji ISHIBASHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京大学大学院新領域創成科学研究科 School of Frontier Sciences, The University of Tokyo |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤島 実 / Minoru FUJISHIMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京大学大学院新領域創成科学研究科 School of Frontier Sciences, The University of Tokyo |
| 発表年月日 | 2007-03-07 |
| 資料番号 | VLD2006-107,ICD2006-198 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 547 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |