講演名 2007/2/21
圧電トランスの微細化検討(一般/アコースティックイメージング)
安達 日出夫, 市原 寛智, 若林 勝裕, 水沼 明子,
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抄録(和) 静電型MEMSデバイス駆動用電源デバイスとして、接合構造をしたRosen型圧電トランスの微細化の実現性可能性検討を有限要素法(FEM)解析と、実験とによって行った。FEM解析では、接合層の存在の影響とサイズ効果を、また、実験ではW:t:2Lが1:1:2.5、2:2:5、3:3:7(いずれも単位mm)の寸法で異種圧電素子を分極が直交する様に接合した試料を試作し、インピーダンスや昇圧比の周波数特性や、入力電圧特性等初期特性を測定した結果を報告する。
抄録(英) A feasibility discussion on the application of a junction structured Rosen type piezoelectric transformer to the electric source device for MEMS electrostatic devices was performed using finite element modeling (FEM) analysis and some experiments. In the FEM analysis, an influence of junction layer existence and a size effect were calculated mainly. And in experiment, three kinds of sized junction type devices from different piezoelectric ceramics, W : t : 2L equal to 1 : 1 : 2.5, 2 : 2 : 5, 3 : 3 : 7 (unit:mm) were fabricated. Then measurements on frequency dependences of impedance and step-up ratio were performed. The results of the FEM simulation and experiments are reported.
キーワード(和) Rosenタイプ圧電トランス / 静電駆動MEMS / 異種圧電素子 / 接合構造 / 昇圧比 / FEM解析
キーワード(英) Rosen type / Electrostatic driving MEMS / Different piezoelectric materials / Junction structure / Step-up ratio / FEM
資料番号 US2006-114
発行日

研究会情報
研究会 US
開催期間 2007/2/21(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Ultrasonics (US)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 圧電トランスの微細化検討(一般/アコースティックイメージング)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Miniaturization of Piezoelectric Trasformer
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) Rosenタイプ圧電トランス / Rosen type
キーワード(2)(和/英) 静電駆動MEMS / Electrostatic driving MEMS
キーワード(3)(和/英) 異種圧電素子 / Different piezoelectric materials
キーワード(4)(和/英) 接合構造 / Junction structure
キーワード(5)(和/英) 昇圧比 / Step-up ratio
キーワード(6)(和/英) FEM解析 / FEM
第 1 著者 氏名(和/英) 安達 日出夫 / Hideo ADACHI
第 1 著者 所属(和/英) オリンパスメディカルシステムズ株式会社内視鏡開発部
R&D Division, Olympus Medical Systems Corp.
第 2 著者 氏名(和/英) 市原 寛智 / Hironori ICHIHARA
第 2 著者 所属(和/英) オリンパス株式会社VE技術部
VE Technology Department, Olympus Corp.
第 3 著者 氏名(和/英) 若林 勝裕 / Katsuhiro WAKABAYASHI
第 3 著者 所属(和/英) オリンパスメディカルシステムズ株式会社内視鏡開発部
R&D Division, Olympus Medical Systems Corp.
第 4 著者 氏名(和/英) 水沼 明子 / Akiko MIZUNUMA
第 4 著者 所属(和/英) オリンパスメディカルシステムズ株式会社内視鏡開発部
R&D Division, Olympus Medical Systems Corp.
発表年月日 2007/2/21
資料番号 US2006-114
巻番号(vol) vol.106
号番号(no) 543
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日