| 講演名 | 2006/12/14 超音波振動を用いたアクティブエアベアリング(強力超音波) 大岩 孝彰, |
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| 抄録(和) | 本研究は超音波振動により発生するスクイーズ空気膜による能動形空気軸受の開発を目的としている.この方式では残留振動がなく,空圧源が不要で高精度な軸受が実現できると考えられる.本報では,円筒形状を持つ振動方向変換体を用いた構造の空気軸受を試作し,回転誤差の補正を行った結果およびホーンの小形化と支持方法の改善について報告する. |
| 抄録(英) | This paper reports an active air bearing using air films generated by the ultrasonic oscillation. The bearing employs a directional converter to generate air films on two surfaces. A film generated on the end of the converter lifts the rotor in axial direction. Another on the side surface of the converter constrains the radial motion of the rotor. Furthermore, amplitude variation of the oscillation varies the thickness of the film and positions actively the rotor in axial direction. PI feedback control with a fiber optic displacement sensor measuring a reference ball mounted on the rotor decreased repetitive axial runout from 0.261μm_ |
| キーワード(和) | アクティブエアベアリング / スクイズ空気膜 / 超音波振動子 / 回転誤差補正 |
| キーワード(英) | Active Air Bearing / Ultrasonic Actuator / Squeeze air film / Non-Repetitive Run-Out |
| 資料番号 | US2006-87 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2006/12/14(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 超音波振動を用いたアクティブエアベアリング(強力超音波) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Active Air Bearing based on Ultrasonic Oscillation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | アクティブエアベアリング / Active Air Bearing |
| キーワード(2)（和/英） | スクイズ空気膜 / Ultrasonic Actuator |
| キーワード(3)（和/英） | 超音波振動子 / Squeeze air film |
| キーワード(4)（和/英） | 回転誤差補正 / Non-Repetitive Run-Out |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大岩 孝彰 / Takaaki Oiwa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2006/12/14 |
| 資料番号 | US2006-87 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 440 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |