| 講演名 | 2007-01-18 FDTDシミュレーション技術を用いた材料測定法に関する検討 : ミリ波帯金属表皮抵抗と半導体ウェハを含む誘電体板の測定(超高速・超高周波デバイス及びIC/一般) 飯田 幸雄, 中尾 公一, 大村 泰久, 田村 進, |
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| 抄録(和) | 本報告は,FDTD電磁界シミュレーションを駆使して行う電磁波材料の簡易測定法を検討している.はじめに,矩形空洞共振器を用いた誘電体測定結果を示し,材料形状に対する制約の問題を検討している.次に,NRDガイド共振器を用いた金属表皮抵抗の測定法を提案している.続いて,誘電体板と半導体ウェハの測定法を検討している. |
| 抄録(英) | The measurement method of the electromagnetic wave material supported by the FDTD electromagnetic field simulation technique is studied. First of all, a result of the dielectric measurement using the rectangular cavity resonator is shown, and the problem of the restriction to the material configuration is examined. Next, a measurement method of the metal surface resistance using a NRD guide resonator is proposed. Finally, the measurement method for the semiconductor wafers and dielectric plates is studied. |
| キーワード(和) | マイクロ波・ミリ波 / 電磁波材料 / 材料測定法 / 誘電体測定 / 半導体ウェハ / 導体表皮抵抗 |
| キーワード(英) | Micro- and millimeter-wave / Measurement method / Electromagnetic-wave-materials / Dielectric substrate / Semiconductor wafer / Conductor surface resistance |
| 資料番号 | ED2006-221,MW2006-174 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2007/1/10(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | FDTDシミュレーション技術を用いた材料測定法に関する検討 : ミリ波帯金属表皮抵抗と半導体ウェハを含む誘電体板の測定(超高速・超高周波デバイス及びIC/一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study on Material Measurement Methods Using FDTD Simulation Techniques : Measurements of Surface Resistance of Metals and Dielectric Plates Including Semiconductor Wafer in Millimeter-wave Range |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロ波・ミリ波 / Micro- and millimeter-wave |
| キーワード(2)（和/英） | 電磁波材料 / Measurement method |
| キーワード(3)（和/英） | 材料測定法 / Electromagnetic-wave-materials |
| キーワード(4)（和/英） | 誘電体測定 / Dielectric substrate |
| キーワード(5)（和/英） | 半導体ウェハ / Semiconductor wafer |
| キーワード(6)（和/英） | 導体表皮抵抗 / Conductor surface resistance |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 飯田 幸雄 / Yukio IIDA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 関西大学ORDIST・工学部 ORDIST, Faculty of Engineering, Kansai University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中尾 公一 / Koichi NAKAO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 関西大学工学部 Faculty of Engineering, Kansai University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 大村 泰久 / Yasuhisa OMURA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 関西大学ORDIST・工学部 ORDIST, Faculty of Engineering, Kansai University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 田村 進 / Susumu TAMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 関西大学ORDIST・工学部 ORDIST, Faculty of Engineering, Kansai University |
| 発表年月日 | 2007-01-18 |
| 資料番号 | ED2006-221,MW2006-174 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 459 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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