| 講演名 | 2007-01-19 複数FBMを組み合せた不良モード分類を行う故障解析システム(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般) 前田 一史, 太田 文人, 國家 三智雄, 福本 晃二, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | フェイルビットマップ(FBM)解析ツールの機能として、同一サンプルに対して異なったテスト条件下で取得した複数FBMの同一領域に出現するフェイルビットパターンを組み合わせることでモード分類を詳細に行うことができるシステムを開発した。その結果、詳細な不良モード分類を容易に行うことが可能になった。 |
| 抄録(英) | We have developed the system to classify failure modes using combination of fail bit patterns appeared in same areas of fail bit maps (FBMs) obtained under different test conditions for a same sample. As a result, we can classify detailed failure modes with ease. |
| キーワード(和) | フェイルビットマップ / テスト / 故障解析 / 不良モード |
| キーワード(英) | fail bit map / test / failure analysis / failure mode |
| 資料番号 | CPM2006-145,ICD2006-187 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
|---|---|
| 開催期間 | 2007/1/11(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 複数FBMを組み合せた不良モード分類を行う故障解析システム(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Failure analysis system to classify failure modes using combination of FBMs |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フェイルビットマップ / fail bit map |
| キーワード(2)（和/英） | テスト / test |
| キーワード(3)（和/英） | 故障解析 / failure analysis |
| キーワード(4)（和/英） | 不良モード / failure mode |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 前田 一史 / Hitoshi Maeda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部 Process Technology Development Division, Production and Technology Unit, Renesas Technology Corp. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 太田 文人 / Fumihito Ohta |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部 Process Technology Development Division, Production and Technology Unit, Renesas Technology Corp. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 國家 三智雄 / Michio Kuniya |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部 Process Technology Development Division, Production and Technology Unit, Renesas Technology Corp. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 福本 晃二 / Koji Fukumoto |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部 Process Technology Development Division, Production and Technology Unit, Renesas Technology Corp. |
| 発表年月日 | 2007-01-19 |
| 資料番号 | CPM2006-145,ICD2006-187 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 467 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |