| 講演名 | 2007-01-17 圧電薄膜カンチレバーのパラメータ制御に関する一検討 : 弾性およびQ値の制御 冨田 達也, 山末 耕平, 引原 隆士, |
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| 抄録(和) | 原子間力顕微鏡(AFM)では,試料表面を走査するプローブとして圧電薄膜カンチレバー(カンチレバーのアクチュエーションやたわみのセンシングを目的として圧電性薄膜が一体化されたカンチレバー)が用いられる.本報告では,圧電薄膜カンチレバーのパラメータ制御を提案し,カンチレバーのQ値および弾性がフィードバックにより制御可能であることを明らかにする.また,伊達らのアイディアに基づき,圧電層に並列に容量成分を挿入することでフィードバックを用いることなく,カンチレバーの弾性の制御が可能であるか検討する.さらに提案する弾性制御手法を用いることで,Moreno-Morenoらの提案するパラメトリック共振モードAFMが実現可能であることを示す. |
| 抄録(英) | Microfabricated cantilevers laminated with piezoelectric thin films (piezoelectric cantilevers) have been developed as probes of atomic force microscopes due to the capability of integrated deflection sensing and oscillation excitation. In this report, we propose parametric control of piezoelectric cantilevers, which allow us to control the quality factor and the elasticity using feedback. We also present the elasticity control without feedback based on the recently developed method by Date et al.. The proposed elasticity control methods enable the parametric resonance based operation presented by Moreno-Moreno et al.. |
| キーワード(和) | 圧電薄膜カンチレバー / パラメータ制御 / Q値 / 弾性 / パラメトリック励振 |
| キーワード(英) | piezoelectric cantilever / parameter control / quality factor / elasticity / parametric excitation |
| 資料番号 | NLP2006-118 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | NLP |
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| 開催期間 | 2007/1/10(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Nonlinear Problems (NLP) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 圧電薄膜カンチレバーのパラメータ制御に関する一検討 : 弾性およびQ値の制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A study on electrical control of parameters of cantilever with laminated piezoelectric plates : reguration of elasticity and Q factor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 圧電薄膜カンチレバー / piezoelectric cantilever |
| キーワード(2)（和/英） | パラメータ制御 / parameter control |
| キーワード(3)（和/英） | Q値 / quality factor |
| キーワード(4)（和/英） | 弾性 / elasticity |
| キーワード(5)（和/英） | パラメトリック励振 / parametric excitation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 冨田 達也 / TATSUYA Tomita |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 京都大学 大学院 工学研究科 電気工学専攻 Department of Electrical Engineering, Kyoto University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山末 耕平 / Kohei YAMASUE |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 京都大学 大学院 工学研究科 電気工学専攻 Department of Electrical Engineering, Kyoto University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 引原 隆士 / Takashi HIKIHARA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 京都大学 大学院 工学研究科 電気工学専攻 Department of Electrical Engineering, Kyoto University |
| 発表年月日 | 2007-01-17 |
| 資料番号 | NLP2006-118 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 451 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |