| 講演名 | 2007-01-19 発光/OBIRCH解析とCADデータとの連動によるレイアウト解析の容易化(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般) 嶋瀬 朗, 内角 哲人, 佐伯 光章, 渡會 慎一, 鈴木 猛司, 真島 敏幸, 堀田 和宏, 寺田 浩敏, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 近年の半導体プロセスの進展に伴い、不良解析の困難さが増している。その中の一つに発光顕微鏡やOBIRCH解析装置で検出した反応とレイアウト上のネットとを対応させるレイアウト解析がある。そこで、この作業効率を上げることを目的に、解析ナビゲーションシステムを開発した。これは、検出した反応情報をレイアウトビューアへ送信し、反応した位置を通過するネットを抽出し、各抽出ネットに対する反応通過頻度を表示することで、疑わしいネットを解析者に提示して解析を支援するものである。今回は、システムの概要と基本的な機能、および、新規追加機能について報告する。 |
| 抄録(英) | Recent progress of LSI technology makes failure analysis more difficult. One of the difficulties is connecting sites of signal detected by emission microscope or OBRICH analysis tool to nets on layout data. "Failure Analysis Navigation System (=FA-Navigation System) is developed to make this routine work easier. The system sends sites of the signals to a layout viewer to extract nets passing through the signal areas and displays how many signals are contained in each net for assisting operator's judgment to pick up suspicious nets. This paper will present outline of the system, basic functions and new functions of the system. |
| キーワード(和) | 発光解析 / OBIRCH解析 / レイアウト解析 / CADデータ / ネット抽出 / 解析支援 |
| キーワード(英) | Emission analysis / OBIRCH analysis / Layout analysis / CAD data / Net extraction / Assisting failure analysis |
| 資料番号 | CPM2006-146,ICD2006-188 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
|---|---|
| 開催期間 | 2007/1/11(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 発光/OBIRCH解析とCADデータとの連動によるレイアウト解析の容易化(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Improvement of Layout Analysis by Connecting Emission or OBIRCH signals to CAD Information |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 発光解析 / Emission analysis |
| キーワード(2)（和/英） | OBIRCH解析 / OBIRCH analysis |
| キーワード(3)（和/英） | レイアウト解析 / Layout analysis |
| キーワード(4)（和/英） | CADデータ / CAD data |
| キーワード(5)（和/英） | ネット抽出 / Net extraction |
| キーワード(6)（和/英） | 解析支援 / Assisting failure analysis |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 嶋瀬 朗 / Akira SHIMASE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ Renesas Technology Corp. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 内角 哲人 / Akihito UCHIKADO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ Renesas Technology Corp. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 佐伯 光章 / Mitsuaki SAEKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ Renesas Technology Corp. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 渡會 慎一 / Shinichi WATARAI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ Renesas Technology Corp. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 鈴木 猛司 / Takeshi SUZUKI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ Renesas Technology Corp. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 真島 敏幸 / Toshiyuki MAJIMA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ Renesas Technology Corp. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 堀田 和宏 / Kazuhiro HOTTA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 浜松ホトニクス(株) Hamamatsu Photonics K.K. |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 寺田 浩敏 / Hirotoshi TERADA |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 浜松ホトニクス(株) Hamamatsu Photonics K.K. |
| 発表年月日 | 2007-01-19 |
| 資料番号 | CPM2006-146,ICD2006-188 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 468 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |