講演名 2007-01-18
各種金属ナノ粒子ペーストによる微細電子回路形成 : 金属ナノ粒子設計によるアプローチ(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
中許 昌美,
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抄録(和) 粒子径が数ナノから数十ナノメートルの金属ナノ粒子は、量子サイズ効果によりその融点あるいは焼結温度が数百℃以下に低温化できる。そのために金属ナノ粒子を主成分とする金属ナノ粒子ペーストは、従来の厚膜ペーストでは困難であったプラスチック製基材への回路形成やライン・アンド・スペース(L&S)が50μm以下の微細配線を可能とする新しい材料として注目され、銀ナノ粒子ペーストを中心に材料開発が進められている。ここでは我々が開発した金属ナノ粒子の大量合成法と粒子設計による低温焼結型の各種金属ナノ粒子ペーストによる微細電子回路形成について述べる。
抄録(英) The melting points or sintering temperatures of metal nanoparticles with average diameters of several nanometer to several decade nanometers can be decreased below several hundred degrees. Based on such specific property, metal nanoparticles are expected to be used as the main component of the conductive paste for making fine pitch electronic circuit pattern less than 50μm on a plastic substrate such as polyimide film, glass-epoxy resin substrate, and PET film. Synthetic approach of the Ag, Au, and Cu nanoparticles and the Ag-Pd alloy nanoparticles and their application to the conductive paste are described in detail.
キーワード(和) 金属ナノ粒子 / 貴金属ナノ粒子ペースト / 銀-パラジウム合金ナノ粒子ペースト / 銅ナノ粒子ペースト / 微細電子回路形成 / スタリーン印刷
キーワード(英) Metal Nanoparticles / Noble Metal Nanoparticle Paste / Silver-Palladium Alloy Nanoparticle Paste / Copper Nanoparticle Paste / Fine Pitch Electronic Circuit Patter Formation / Screen Printing
資料番号 CPM2006-135,ICD2006-177
発行日

研究会情報
研究会 ICD
開催期間 2007/1/11(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Integrated Circuits and Devices (ICD)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 各種金属ナノ粒子ペーストによる微細電子回路形成 : 金属ナノ粒子設計によるアプローチ(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Fine Pitch Electronic Circuit Pattern Formation : The Synthetic Approach of Metal Nanoparticles
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 金属ナノ粒子 / Metal Nanoparticles
キーワード(2)(和/英) 貴金属ナノ粒子ペースト / Noble Metal Nanoparticle Paste
キーワード(3)(和/英) 銀-パラジウム合金ナノ粒子ペースト / Silver-Palladium Alloy Nanoparticle Paste
キーワード(4)(和/英) 銅ナノ粒子ペースト / Copper Nanoparticle Paste
キーワード(5)(和/英) 微細電子回路形成 / Fine Pitch Electronic Circuit Patter Formation
キーワード(6)(和/英) スタリーン印刷 / Screen Printing
第 1 著者 氏名(和/英) 中許 昌美 / Masami NAKAMOTO
第 1 著者 所属(和/英) 大阪市立工業研究所
Osaka Municipal Technical Research Institute
発表年月日 2007-01-18
資料番号 CPM2006-135,ICD2006-177
巻番号(vol) vol.106
号番号(no) 468
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日