講演名 | 2006-11-15 Si:SiO_2共スパッタ膜の発光起源の一検証とデバイス応用の検討(光機能性有機材料・デバイス,光非線形現象,一般) 三浦 健太, 松本 敏明, 武井 修, 加藤 裕司, 種村 豪, 星野 ひとみ, 花泉 修, |
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抄録(和) | 我々はこれまで,アニール処理なしで青色発光するSiとSiO_2の共スパッタ膜(Si:SiO_2膜)を開発してきたが,その発光起源は明らかでなく,デバイス応用のためにはその解明が必要である.そこで今回は,Si:SiO_2膜のSi含有率の変更およびTi:SiO_2膜等の特性と比較することにより,発光起源解明のための検証を行った.Siの含有率を変えたSi:SiO_2膜を作製し,青色のフォトルミネッセンス(PL)を観測したところ,PLピークの特性は,ピークエネルギー3.1eV,半値全幅(FWHM)0.34-0.37eVで,Si含有率によらずほぼ同一であった.その一方で,吸収係数から求めた各試料のバンドギャップエネルギーは,Si含有率に応じそれぞれ異なることを確認した.即ち,我々が作製するSi:SiO_2膜の青色発光は,そのバンドギャップによるものではなく,別の発光起源によることがわかった.今回観測したPL特性は,Ti:SiO_2共スパッタ膜が示す光学特性とよく一致することから,我々が作製するSi:SiO_2膜の青色発光の起源は,膜中のSiクラスターとSiO_2媒質との境界に存在するSiO_xにあることが示された.更に,Si:SiO_2膜の発光デバイスへの応用を目指し,周期構造との組み合わせによる発光特性の改善を試みた. |
抄録(英) | We observed blue photoluminescence (PL) in Si:SiO_2 co-sputtered films with various Si content. The PL peaks with the full width of half maximum (FWHM) of 0.34-0.37 eV were located at near 3.1 eV which was common between the samples in which observed blue-light emission at room temperature by naked eyes. On the other hand, the bandgap energies of the samples estimated from the absorption coefficients were different. These results show blue-light emission in our Si:SiO_2 films was caused by not the bandgap but other emission origin since their PL properties show good agreement with the ones of Ti:SiO_2 co-sputtered films. Furthermore, we also fabricated Si:SiO_2 co-sputtered thin films that show red PL at room temperature after annealing at 1100℃. We found the samples fabricated by co-sputtering have PL peaks around λ=800nm. The films were fabricated on one-dimensional periodic structures and measured their PL. We succeeded in narrowing of their PL spectrum. |
キーワード(和) | Siクラスター / SiO_2 / SiO_x / 可視発光 / RFスパッタ / 周期構造 |
キーワード(英) | Si cluster / SiO_2 / SiO_x / blue-light emission / RF sputtering / periodic structure |
資料番号 | OME2006-104,OPE2006-119 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | OME |
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開催期間 | 2006/11/8(から1日開催) |
開催地(和) | |
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幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | Si:SiO_2共スパッタ膜の発光起源の一検証とデバイス応用の検討(光機能性有機材料・デバイス,光非線形現象,一般) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | A Study on Photoluminescence Mechanism of Si:SiO_2 Sputtered Films and Its Device Application |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | Siクラスター / Si cluster |
キーワード(2)(和/英) | SiO_2 / SiO_2 |
キーワード(3)(和/英) | SiO_x / SiO_x |
キーワード(4)(和/英) | 可視発光 / blue-light emission |
キーワード(5)(和/英) | RFスパッタ / RF sputtering |
キーワード(6)(和/英) | 周期構造 / periodic structure |
第 1 著者 氏名(和/英) | 三浦 健太 / Kenta MIURA |
第 1 著者 所属(和/英) | 群馬大学工学部 Gunma University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 松本 敏明 / Toshiaki MATSUMOTO |
第 2 著者 所属(和/英) | 群馬大学大学院工学研究科 Gunma University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 武井 修 / Osamu TAKEI |
第 3 著者 所属(和/英) | 群馬大学大学院工学研究科 Gunma University |
第 4 著者 氏名(和/英) | 加藤 裕司 / Yuji KATO |
第 4 著者 所属(和/英) | 群馬大学大学院工学研究科 Gunma University |
第 5 著者 氏名(和/英) | 種村 豪 / Takeshi TANEMURA |
第 5 著者 所属(和/英) | 群馬大学大学院工学研究科 Gunma University |
第 6 著者 氏名(和/英) | 星野 ひとみ / Hitomi HOSHINO |
第 6 著者 所属(和/英) | 群馬大学大学院工学研究科 Gunma University |
第 7 著者 氏名(和/英) | 花泉 修 / Osamu HANAIZUMI |
第 7 著者 所属(和/英) | 群馬大学工学部 Gunma University |
発表年月日 | 2006-11-15 |
資料番号 | OME2006-104,OPE2006-119 |
巻番号(vol) | vol.106 |
号番号(no) | 347 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 5 |
発行日 |