| 講演名 | 2006-11-09 プラスチック基板上へのITO薄膜の作製(薄膜プロセス・材料,一般) 竹内 正樹, 森下 和哉, 梅津 岳, 中田 悠介, 宮崎 紳介, 清水 英彦, 丸山 武男, 岩野 春男, 川上 貴浩, 星 陽一, 皆川 正寛, |
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| 抄録(和) | 本研究では,ITO薄膜の低温での作製を検討するために,RF-DC結合形スパッタ法を用いてプラスチック(PEN)及びガラス基板上にITO薄膜の作製を試みた。その結果,PEN基板及びガラス基板ともに,約50℃以下の低温でITO膜の作製が可能であった。また,この方法により作製したITO膜は,全てアモルファスであり,抵抗率が約5×10^<-4>Ω・cm,可視光領域の透過率が約80%以上であった。 |
| 抄録(英) | In order to examine deposition method of the ITO films at the low-temperature, deposition of the ITO films on plastic (PEN) and glass substrate was attempted by RF-DC coupled magnetron sputtering (RF-DC MS) method. As a result, ITO films on PEN and glass substrate deposited by the RF-DC MS method obtained at temperature below 50℃. ITO films deposited by the RF-DC MS method were amorphous and those films had resistivity of about 5×10^<-4>Ω・cm and transmittance above 80% in the visible range. |
| キーワード(和) | ITO薄膜 / RF-DC結合型スパッタ法 / 低温製膜 / アモルファス |
| キーワード(英) | ITO thin film / RF-DC coupled magnetron sputtering method / low temperature deposition / amorphous |
| 資料番号 | CPM2006-114 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2006/11/2(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プラスチック基板上へのITO薄膜の作製(薄膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of ITO Thin Films on Plastic Substrate |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ITO薄膜 / ITO thin film |
| キーワード(2)（和/英） | RF-DC結合型スパッタ法 / RF-DC coupled magnetron sputtering method |
| キーワード(3)（和/英） | 低温製膜 / low temperature deposition |
| キーワード(4)（和/英） | アモルファス / amorphous |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 竹内 正樹 / Masaki TAKEUCHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 新潟大学大学院自然科学研究科 Guraduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 森下 和哉 / Kazuya MORISHITA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 新潟大学大学院自然科学研究科 Guraduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 梅津 岳 / Takeshi UMETSU |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 新潟大学大学院自然科学研究科 Guraduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 中田 悠介 / Yusuke NAKATA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 新潟大学大学院自然科学研究科 Guraduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 宮崎 紳介 / Shinsuke MIYAZAKI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 新潟大学大学院自然科学研究科 Guraduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 清水 英彦 / Hidehiko SHIMIZU |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部:東京工芸大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University:Center for Transdisciplinary Research, Niigata University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 丸山 武男 / Takeo MARUYAMA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 岩野 春男 / Haruo IWANO |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 川上 貴浩 / Takahiro KAWAKAMI |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 星 陽一 / Yoichi HOSHI |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 東京工芸大学工学部 Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnics University |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 皆川 正寛 / Masahiro MINAGAWA |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 日本精機株式会社 Nippon Seiki Co., Ltd |
| 発表年月日 | 2006-11-09 |
| 資料番号 | CPM2006-114 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 336 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
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