| 講演名 | 2006-10-27 容量結合形MEMSコプレーナハイブリッドカプラ(サブミリ波技術/マイクロ波電力応用/一般) 橘川 雄亮, 半谷 政毅, / 西野 有, 吉田 幸久, 宮崎 守泰, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 容量結合形MEMSコプレーナハイブリッドカプラを提案する.提案するハイブリッドカプラは,従来の結合線路に加えて,結合線路の中心にMEMS技術で作製された容量結合部を有することで,所望の結合量を得ることを特徴としている.容量結合部は,2層の導体を,交互にオーバーラップさせた中空構造となっている.この容量結合部で結合度を増加させることができるので,比較的広い結合線路間隔で大きな結合度を得ることが可能となり,製造ばらつきに強いハイブリッドカプラを得ることができる.このハイブリッドカプラをシリコン基板上に試作し,13GHzにおいて,反射損失24.7dB,挿入損失0.7dB,アイソレーション28.0dBの性能が得られ,本カプラの有用性が確認できた. |
| 抄録(英) | A new micromachined coplanar waveguide (CPW) 3-dB hybrid coupler has been demonstrated. A micromachined enhanced coupling structure at the middle of coupled transmission lines is employed to obtain high directivity. The coupling structure is composed of alternately overlapping plated conductors employing micromachined air-gap structures. This structure relaxes the tolerance of the gap between the coupled lines, and mitigates production error. We fabricate the CPW hybrid coupler with the enhanced coupling structure on a silicon substrate to verify the performance. The results showed the return loss of 28dB, the insertion loss of 0.7dB, and the isolation of 25dB at 13GHz. |
| キーワード(和) | コプレーナ結合線路 / 方向性結合器 / 中空構造 / MEMS |
| キーワード(英) | CPW / DIRECTIONAL COUPLER / AIR-GAP / MEMS |
| 資料番号 | EMCJ2006-67,MW2006-123 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMCJ |
|---|---|
| 開催期間 | 2006/10/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromagnetic Compatibility (EMCJ) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 容量結合形MEMSコプレーナハイブリッドカプラ(サブミリ波技術/マイクロ波電力応用/一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MEMS CPW Hybrid Coupler with Capacitive Coupling |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | コプレーナ結合線路 / CPW |
| キーワード(2)（和/英） | 方向性結合器 / DIRECTIONAL COUPLER |
| キーワード(3)（和/英） | 中空構造 / AIR-GAP |
| キーワード(4)（和/英） | MEMS / MEMS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 橘川 雄亮 / Yusuke KITSUKAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 半谷 政毅 / Masatake HANGAI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | / 西野 有 / Sang-Seok LEE |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Advanced Technology R&D Center |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 吉田 幸久 / Tamotsu NISHINO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 宮崎 守泰 / Yukihisa YOSHIDA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Advanced Technology R&D Center |
| 発表年月日 | 2006-10-27 |
| 資料番号 | EMCJ2006-67,MW2006-123 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 322 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |