| 講演名 | 2006-10-06 様々な基板上への紫外発光素子の作製と評価(窒化物及び混晶半導体デバイス) 渡邉 浩崇, 飯田 一喜, 竹田 健一郎, 永松 謙太郎, 住井 隆文, 永井 哲也, バラクリッシュナン クリッシュナン, 岩谷 素顕, 上山 智, 天野 浩, 赤崎 勇, 坂東 章, |
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| 抄録(和) | 高効率短波長紫外発光素子を実現するには低転位AlGaNが必須である。本論文では、高温成長高品質AlN上に周期溝を作製し、クラックフリー、かつ低転位な高品質AlGaNを実現した。さらにこの高品質AlGaN下地層とし、紫外LEDを試作し評価をおこなった。 |
| 抄録(英) | We report on the performance of UV light emitting diode having GaN/AlGaN multi quantum well active layer on low dislocation density AlGaN, which was grown on the high-temperature grown AlN and epitaxial lateral overgrowth method. |
| キーワード(和) | AlGaN / 高温成長AlN / 周期溝構造 / 紫外LED |
| キーワード(英) | AlGaN / High temperature growth AlN / Periodic trenches / UV-LED |
| 資料番号 | ED2006-168,CPM2006-105,LQE2006-72 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2006/9/28(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 様々な基板上への紫外発光素子の作製と評価(窒化物及び混晶半導体デバイス) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and characterization of UV light emitters on various substrates |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | AlGaN / AlGaN |
| キーワード(2)（和/英） | 高温成長AlN / High temperature growth AlN |
| キーワード(3)（和/英） | 周期溝構造 / Periodic trenches |
| キーワード(4)（和/英） | 紫外LED / UV-LED |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 渡邉 浩崇 / H. Watanabe |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 飯田 一喜 / K. Iida |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 竹田 健一郎 / K. Takeda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 永松 謙太郎 / K. Nagamatsu |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 住井 隆文 / T. Sumii |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 永井 哲也 / T. Nagai |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | バラクリッシュナン クリッシュナン / K. Balakrishnan |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 岩谷 素顕 / M. Iwaya |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 上山 智 / S. Kamiyama |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 天野 浩 / H. Amano |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 赤崎 勇 / I. Akasaki |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 名城大・理工・21世紀COE「ナノファクトリー」:名城大学理工学部材料機能工学科 Faculty of Science and Technology, 21^ |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 坂東 章 / A. Bando |
| 第 12 著者 所属（和/英） | 昭和電工(株):名城大学理工学部材料機能工学科 Showa Denko, K. K. |
| 発表年月日 | 2006-10-06 |
| 資料番号 | ED2006-168,CPM2006-105,LQE2006-72 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 270 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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