| 講演名 | 2006/9/1 微小領域の帯電を検出するセンサーの開発 : フェライト基板上におけるTi酸化膜の誘電率の検討(センサーデバイス・MEMS・一般) 能智 紀台, 宮里 淳, 生地 文也, 野澤 忠生, |
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| 抄録(和) | 当グループは,微小領域(代表例として液晶を構成するTFT小素子)の帯電を検出するセンサーの開発を行っている.センサーは,フェライト基板上に積層したTi酸化膜を誘電体層とし,等価回路的には薄膜コンデンサーと同等な構造である.このTi酸化膜は,メタルのTiをターゲットし,Rfマグネトロンスパッタ法を酸素雰囲気内で適用して形成される.本研究では,Ti酸化膜の成膜条件およびアニール条件と,結晶学的性質及び電気的性質との関係を検討した.その結果,成膜時にフェライト基板の温度を300℃とし,真空中の700℃でアニールを行うと,アナターゼからルチル構造への相転移が生じ,比誘電率が16であるTi酸化膜が得られることが判った. |
| 抄録(英) | We have investigated both crystalline and electrical properties for TiO_2 films deposited onto Ferrite substrate, which are essentially important for the sensor detecting the electrostatic charge generated at the small area. These films are prepared by using Rf magnetron sputtering equipment in oxygen atmosphere. It is found experimentally that annealing the film in vacuum of 700℃, which is deposited at the substrate temperature of 300℃, provides higher dielectric constant, 16, meanwhile it leads the phase change, i.e., from anatase to rutile structure. |
| キーワード(和) | 帯電 / センサー / Rfマグネトロン / Ti酸化膜 / 誘電率 / ルチル構造 / フェライト |
| キーワード(英) | Electrostatic charge / Sensor / Rf magnetron / TiO_2 film / Dielectric constant / Rutile structure / Ferrite |
| 資料番号 | ED2006-143,OME2006-68 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2006/9/1(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 微小領域の帯電を検出するセンサーの開発 : フェライト基板上におけるTi酸化膜の誘電率の検討(センサーデバイス・MEMS・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Sensor detecting the electrostatic Charge Generated at Small Area : Crystalline and Electrical Properties for TiO_2 Films Deposited by Using Rf Magnetron Sputtering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 帯電 / Electrostatic charge |
| キーワード(2)（和/英） | センサー / Sensor |
| キーワード(3)（和/英） | Rfマグネトロン / Rf magnetron |
| キーワード(4)（和/英） | Ti酸化膜 / TiO_2 film |
| キーワード(5)（和/英） | 誘電率 / Dielectric constant |
| キーワード(6)（和/英） | ルチル構造 / Rutile structure |
| キーワード(7)（和/英） | フェライト / Ferrite |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 能智 紀台 / Norimoto NOUCHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 九州共立大学工学部 Faculty of Engineering, Kyusyu Kyoritsu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 宮里 淳 / Atsusi MIYAZATO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 三和工機(株) Sanwa Koki Co. Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 生地 文也 / Fumiya SHOJI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 九州共立大学工学部 Faculty of Engineering, Kyusyu Kyoritsu University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 野澤 忠生 / Tadao NOZAWA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 九州共立大学工学部 Faculty of Engineering, Kyusyu Kyoritsu University |
| 発表年月日 | 2006/9/1 |
| 資料番号 | ED2006-143,OME2006-68 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 227 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |