| 講演名 | 2006-08-24 SR露光によるブレーズ型回折格子の作製(次世代伝送用ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般) 蟹江 智彦, 片山 誠, 森田 哲平, 外嶋 昇, 加藤 準一, 永山 富男, 水谷 泰, 加藤 史樹, 藤縄 伸哉, 杉山 進, |
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| 抄録(和) | SR露光によるリソグラフィーは、微細な高アスペクト比の3次元構造体を作製する有効な手法であり、そのレジスト構造体を母型とした電鋳金型を用いて樹脂成型品を作製するLIGA法は、微細成型品の量産技術として有効である。一方、光通信分野では3次元微細構造を有する回折格子が合分波器の構成部品の一つであり、メトロアクセス系に使用される場合は低コスト化が要求される。そこで、本研究ではLIGA法によるCWDM合分波器への適用を目指したプレーズ型回折格子の作製を目的とし、母型作製工程であるSR露光プロセスの最適化の検討結果について報告する。 |
| 抄録(英) | We have successively fabricated a blazed nano grating based on the X-ray gray-scale lithography technology. The structure of PMMA resist were included triangle shapes by exposing a synchrotron radiation to a moving PMMA resist. But the shape of the oblique side was not linearity and the vertical side had a small slop because of the influence of the Fresnel diffraction. The modulation depth of blazed grating is enabled to control by the deposited doses of X-ray. |
| キーワード(和) | X線リソグラフィー / ブレーズ型回折格子 / シンクロトロン放射光 / フレネル回折 |
| キーワード(英) | X-ray lithography / blazed grating / synchrotron radiation / Fresnel diffraction |
| 資料番号 | OFT2006-17 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OFT |
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| 開催期間 | 2006/8/17(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Fiber Technology (OFT) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | SR露光によるブレーズ型回折格子の作製(次世代伝送用ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Blazed Gratings by SR Exposure System |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | X線リソグラフィー / X-ray lithography |
| キーワード(2)（和/英） | ブレーズ型回折格子 / blazed grating |
| キーワード(3)（和/英） | シンクロトロン放射光 / synchrotron radiation |
| キーワード(4)（和/英） | フレネル回折 / Fresnel diffraction |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 蟹江 智彦 / Tomohiko KANIE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 片山 誠 / Makoto KATAYAMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 森田 哲平 / Teppei MORITA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 中沼アートスクリーン株式会社 Nakanuma Art Screen Co, Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 外嶋 昇 / Noboru TOSHIMA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 中沼アートスクリーン株式会社 Nakanuma Art Screen Co, Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 加藤 準一 / Junichi KATO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 中沼アートスクリーン株式会社 Nakanuma Art Screen Co, Ltd. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 永山 富男 / Tomio NAGAYAMA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 京都市産業技術研究所 Kyoto Municipal Industrial Research Institute |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 水谷 泰 / Yasushi MIZUTANI |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 京都市産業技術研究所 Kyoto Municipal Industrial Research Institute |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 加藤 史樹 / Fumiki KATO |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 立命館大学 Ritsumeikan University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 藤縄 伸哉 / Shinya FUJINAWA |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 立命館大学 Ritsumeikan University |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 杉山 進 / Susumu SUGIYAMA |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 立命館大学 Ritsumeikan University |
| 発表年月日 | 2006-08-24 |
| 資料番号 | OFT2006-17 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 211 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 3 |
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