| 講演名 | 2006-08-25 マイクロチャネル中に注入した微小液滴の電界駆動により動作する交叉導波路型光スイッチ : マイクロチャネルの製作技術とスイッチング特性(光部品・電子デバイス実装技術,一般) 池本 卓司, 国分 泰雄, |
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| 抄録(和) | 我々は静電力によって微小液滴を駆動する,低消費電力化に適した光導波路型光スイッチを提案および実証した.また,このデバイス実現の重要な製作技術である,薄いカバー層を持つマイクロチャネルの形成法を,リフトオフ技術とダマシンプロセスを用いることによって実現した.このデバイスは,交叉導波路の交点でマイクロチャネルが30度で交叉しており,そのマイクロチャネル中に注入した微小マッチングオイル液滴をマクスウェルの応力によって駆動させることで動作する.液滴が導波路とマイクロチャネルの交叉部にある時は,光はマイクロチャネル中を直進してスルーポートに出力される.逆に空気が導波路とマイクロチャネルの交叉部にある時には,光はマイクロチャネルの側壁で全反射され,クロスポートに出力される.動作電圧250Vにおいて,消光比33dB,切替時間31msの動作を得た. |
| 抄録(英) | We propose and demonstrate an optical waveguide switch based on microfluidics driven by electrostatic force, which is suitable for low power consumption. We developed the fabrication techniquie of microchannel with thin cover layer using the Damascene process, which is the key point of this switch. Maxwell's stress actuates a minute droplet of liquid injected in the microchannel. The light propagates straight through the waveguide when the droplet lies in the microchannel, while the light is completely reflected into a crossed waveguide when the droplet does not exist in the microchannel. High extinction ratio of 33dB was obtained at the driving voltage of 250V. The switching time was 31ms. |
| キーワード(和) | 光スイッチ / MEMS / マイクロチャネル / ダマシンプロセス / 液滴移動 |
| キーワード(英) | optical switch / micro-electro-mechanical system / micro-channel / Damascene process / droplet movement |
| 資料番号 | EMD2006-45,CPM2006-75,OPE2006-87,LQE2006-52 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2006/8/17(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | マイクロチャネル中に注入した微小液滴の電界駆動により動作する交叉導波路型光スイッチ : マイクロチャネルの製作技術とスイッチング特性(光部品・電子デバイス実装技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Optical waveguide switch based on movement of matching oil in microchannel driven by electrostatic force : Fabrication technology and switching characteristics |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光スイッチ / optical switch |
| キーワード(2)（和/英） | MEMS / micro-electro-mechanical system |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロチャネル / micro-channel |
| キーワード(4)（和/英） | ダマシンプロセス / Damascene process |
| キーワード(5)（和/英） | 液滴移動 / droplet movement |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 池本 卓司 / Takuji IKEMOTO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学大学院工学府 The authors are with the Graduate School of Eng., Yokohama National Univ. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 国分 泰雄 / Yasuo KOKUBUN |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学大学院工学府 The authors are with the Graduate School of Eng., Yokohama National Univ. |
| 発表年月日 | 2006-08-25 |
| 資料番号 | EMD2006-45,CPM2006-75,OPE2006-87,LQE2006-52 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 212 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |