| 講演名 | 2006/6/26 RF MEMS Switch using the Pull-up Structure for High Long-term Reliability and Low Actuation Voltage(Session 8B Emerging Devices and Technologies II) , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | In this paper, we developed the RF MEMS switch using the pull-up structure for high long-term reliability and low actuation voltage. To achieve the high long-term reliability and low actuation voltage, the RF MEMS switch adopted the pull-up structure using the movable contact pad, instead of cantilevers or fixed-fixed beams, because the movable contact pad was not deformed by electrostatic force. Reliable operations were demonstrated at a very low actuation voltage of 4.5V. After 23 billion cyclic actuations, the reliable actuation voltages smaller than 5V are obtained, while insertion loss and isolation are maintained below 0.51 and 55.0dB, respectively, at 50 GHz. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | MEMS switch / pull-up structure / movable contact pad / low actuation voltage / high long-term reliability |
| 資料番号 | ED2006-105,SDM2006-113 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2006/6/26(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | RF MEMS Switch using the Pull-up Structure for High Long-term Reliability and Low Actuation Voltage(Session 8B Emerging Devices and Technologies II) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / MEMS switch |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Seong-Dae Lee |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Millimeter-wave Innovation Technology Research Center (MINT), Dongguk University |
| 発表年月日 | 2006/6/26 |
| 資料番号 | ED2006-105,SDM2006-113 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 138 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |