| 講演名 | 2006/6/26 連続波グリーンレーザーによるシリコン薄膜のグレイン成長 黒木 伸一郎, 藤井 俊太朗, 小谷 光司, 伊藤 隆司, |
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| 抄録(和) | DPSS-CWレーザーを用いた非晶質シリコンの低温結晶化を行った。レーザービームのスポットはレーザー照射領域で緩やかな熱勾配をもつように設計し、走査方向に引き伸ばした形状とした。この形状により結晶成長時間を長くすることができ、その結果、2次元的に結晶成長した(100)配向をもつシリコン薄膜を得ることができた。 |
| 抄録(英) | Low temperature crystallization of amorphous silicon (a-Si) thin films using a diode-pumped solid state (DPSS) continuous wave (CW) laser was investigated. A laser beam spot was designed for a gradual slope of temperature in a laser irradiated region, and was elongated to a scanning direction. The elongated laser spot with a gradual slope of temperature make a crystallization time longer. Consequently, a two dimensional lateral crystallization of (100) well-oriented Si thin films was achieved. |
| キーワード(和) | 多結晶シリコン薄膜 / 薄膜トランジスタ / レーザー結晶化方法 |
| キーワード(英) | polycrystalline silicon thin films / thin film transistor / Laser recrystallization |
| 資料番号 | ED2006-79,SDM2006-87 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2006/6/26(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | 連続波グリーンレーザーによるシリコン薄膜のグレイン成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Large Grain Growth of Silicon Thin Films by using CW Green Laser(Session 6A Silicon Devices III,AWAD2006) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 多結晶シリコン薄膜 / polycrystalline silicon thin films |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜トランジスタ / thin film transistor |
| キーワード(3)（和/英） | レーザー結晶化方法 / Laser recrystallization |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 黒木 伸一郎 / Shin-Ichiro Kuroki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤井 俊太朗 / Shuntaro Fujii |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 小谷 光司 / Koji Kotani |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 伊藤 隆司 / Takashi Ito |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2006/6/26 |
| 資料番号 | ED2006-79,SDM2006-87 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 138 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |