| 講演名 | 2006-07-28 高感度集積化磁界プローブによる高周波磁気イメージング(イメージセンサのインターフェース回路,アナログ,及び一般) 青山 聡, 川人 祥二, 山口 正洋, |
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| 抄録(和) | 近傍磁界計測のための新しいタイプの高感度、高空間分解能を持ったアクティブ型磁界プローブを開発した。CMOS-SOI(Silicon On Insulator)プロセスを用い、検出コイル、2段差動アンプ、差動-シングルエンド変換回路、出力バッファ、周辺バイアス回路をすべて1つのチップに集積化している。本プローブでは検出コイルを差動構造とし、差動-シングルエンド変換回路に高い同相信号除去特性を持たせることで、放射電磁波内の電界成分を除去し、磁界成分を選択的に検出する。試作したプローブによる2次元磁界分布測定においては、従来のシールデイツドループコイルに比べて高精細なノイズマップ画像が得られた。また、アレイ化したプローブによるスイッチングスキャン動作を行うことで、ミクロンレベルの磁界プローブとしては初めての多点同時測定を実現した。 |
| 抄録(英) | A novel magnetic probe has been designed and fabricated in a 0.15μm five-metal CMOS-SOI technology, in order to achieve both high sensitivity and high spatial resolution. A detecting coil, a 2-stage differential amplifier, a differential to single-ended converter, an output buffer and other peripheral circuits are all integrated on a single chip. The probe has a feature to distinguish magnetic field from the detected electromagnetic emissions, by means of a 2-turn differential coil structure and a circuit technique of a wideband differential-to-single-ended converter with the high common mode rejection. A 2D magnetic distribution map has been drawn by the fabricated active probe, and the obtained image is finer than that of a shielded loop coil. Furthermore, the concurrent measurement of the magnetic field with three aligned minute active probes has been demonstrated using electrical switching. |
| キーワード(和) | 磁界プローブ / アクティブプローブ / アレイ / 近傍磁界計測 / CMOS-SOI / EMC / EMI |
| キーワード(英) | Magnetic Probe / Active Probe / Array / Near Field Measurement / CMOS-SOI / EMC / EMI |
| 資料番号 | ICD2006-72 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2006/7/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 高感度集積化磁界プローブによる高周波磁気イメージング(イメージセンサのインターフェース回路,アナログ,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High Frequency Magnetic Imaging with a High Sensitivity Integrated Magnetic Probe |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 磁界プローブ / Magnetic Probe |
| キーワード(2)（和/英） | アクティブプローブ / Active Probe |
| キーワード(3)（和/英） | アレイ / Array |
| キーワード(4)（和/英） | 近傍磁界計測 / Near Field Measurement |
| キーワード(5)（和/英） | CMOS-SOI / CMOS-SOI |
| キーワード(6)（和/英） | EMC / EMC |
| キーワード(7)（和/英） | EMI / EMI |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 青山 聡 / Satoshi AOYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学 電子科学研究科 Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 川人 祥二 / Shoji KAWAHITO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学 電子工学研究所 Research Institute of Electronics, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山口 正洋 / MASAHIRO Yamaguchi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学 大学院工学研究科 Tohoku University |
| 発表年月日 | 2006-07-28 |
| 資料番号 | ICD2006-72 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 189 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |