講演名 2006-07-03
マイクロカンチレバの自励発振特性と自己検知自己駆動型AFMマイクロカンチレバの実現に向けた検討(一般,制御システムとダイナミックス)
林 圭一, 小林 健, 黒田 雅治, 藪野 浩司,
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抄録(和) 近年,原子間力顕微鏡(AFM)による液中での生体観察が期待されている.本研究では液中でも高感度でかつ試料を傷つけないためのAFMカンチレバの低振幅な定常振動をファンデルポール型自励発振法を用いて実現する.また圧電膜によりマイクロカンチレバの加振とたわみの検知の両方を行なう手法について検討する.この手法はレーザによるカンチレバの変位の計測を必要とせず,液中観察に有利といえる.さらに光点をカンチレバ先端に合わせる作業を必要としないことから操作も簡略化でき,また従来のものより装置の小型化が期待される.
抄録(英) Recently, the vital observation in liquid enviroment by atomic force microscopy (AFM) is attracts the attention of many researchers. In this research, stable and sufficiently small steady-state amplitude of cantilever to avoid damaging samples is realized by the "van der Pol" type self-excited oscillation. For that purpose, we consider using a self-actuation self-detection-type microcantilever using piezoelectric elements. The piezoelectric elements can excite the micro cantilever and detect its bending. It has advantage for the observation in the liquid because the optical method to measure the displacement of the cantilever is not necessary. In addition, AFM can be smaller than conventional one by removing optial devices.
キーワード(和) 原子間力顕微鏡 / 圧電素子 / 自己検知自己駆動型マイクロカンチレバ / ファンデルポール型自励発振
キーワード(英) atomic force microscopy / piezoelectric element / self-detection self-actuation-type microcantilever / "van der Pol" type self-excited oscillation
資料番号 NLP2006-29
発行日

研究会情報
研究会 NLP
開催期間 2006/6/26(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Nonlinear Problems (NLP)
本文の言語 JPN
タイトル(和) マイクロカンチレバの自励発振特性と自己検知自己駆動型AFMマイクロカンチレバの実現に向けた検討(一般,制御システムとダイナミックス)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Characteristic of a Self-excited Micro Cantilever and a Self-detection Self-actuation-type Micro Cantilever for AFM
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 原子間力顕微鏡 / atomic force microscopy
キーワード(2)(和/英) 圧電素子 / piezoelectric element
キーワード(3)(和/英) 自己検知自己駆動型マイクロカンチレバ / self-detection self-actuation-type microcantilever
キーワード(4)(和/英) ファンデルポール型自励発振 / "van der Pol" type self-excited oscillation
第 1 著者 氏名(和/英) 林 圭一 / Keiichi HAYASHI
第 1 著者 所属(和/英) 筑波大学
University of Tsukuba
第 2 著者 氏名(和/英) 小林 健 / Takeshi KOBAYASHI
第 2 著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所
National Institute of Advanced Indstrial Science and Technology(AIST)
第 3 著者 氏名(和/英) 黒田 雅治 / Masaharu KURODA
第 3 著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所
National Institute of Advanced Indstrial Science and Technology(AIST)
第 4 著者 氏名(和/英) 藪野 浩司 / Hiroshi YABUNO
第 4 著者 所属(和/英) 筑波大学
University of Tsukuba
発表年月日 2006-07-03
資料番号 NLP2006-29
巻番号(vol) vol.106
号番号(no) 135
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日