| 講演名 | 2006-06-02 産業用高出力全固体UVレーザの開発(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) 桂 智毅, 小島 哲夫, 黒澤 満樹, 西前 順一, |
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| 抄録(和) | 電子機器の小型・高機能化を支える高密度プリント配線基板や各種電子材料の微細加工ツールとしてレーザの適用が進んでいる.この中で全国体UVレーザは集光性が高い,多くの材料に対して高い吸収係数を有する,保守性に優れるなどの特徴を有し,製造工程の更なる微細化の要求に応えるレーザとして期待されている.産業用途で要求される高い生産性を可能とするためには,高出力の全固体UVレーザが必要とされる.こうした背景から,当社では高出力全固体UVレーザの開発を実施しており,カスケードMOPA構成により直線偏光でTEM_<00>の出力265Wの全固体QスイッチNd:YAGレーザを開発し,波長変換により繰返し周波数20kHzにおいて,80Wの3倍波(波長355nm)を得た.これは,我々の知る限り世界最高出力の全固体UVレーザである. |
| 抄録(英) | Laser systems have been widely applied in micro machining fields such as VIA drilling. High power all solid-state UV lasers are demanded for more precise machining. We developed an above 250-W linearly polarized TEM_<00> Q-swiched all-solid state Nd:YAG laser with a MOPA system and obtained 80-W third harmonics(355nm) at the repetition rate of 20kHz by the wavelength conversion technique. |
| キーワード(和) | 全固体 / UV / 波長変換 |
| キーワード(英) | all-solid state / UV / wavelength conversion |
| 資料番号 | LQE2006-10 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2006/5/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 産業用高出力全固体UVレーザの開発(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High power all-solid state UV laser for industrial application |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 全固体 / all-solid state |
| キーワード(2)（和/英） | UV / UV |
| キーワード(3)（和/英） | 波長変換 / wavelength conversion |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 桂 智毅 / Tomotaka KATSURA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社先端総研 Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小島 哲夫 / Tetsuo KOJIMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社先端総研 Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 黒澤 満樹 / Miki KUROSAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社先端総研 Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 西前 順一 / Junichi NISHIMAE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社先端総研 Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric |
| 発表年月日 | 2006-06-02 |
| 資料番号 | LQE2006-10 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 90 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | |