| 講演名 | 2006-06-02 A Real Time Monitoring System for Laser Microprocessing(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | A monitoring system for laser microprocessing has been designed and constructed based on the view point that the characteristics of laser processing inherently relates to the characteristics of laser plasma. The system integrates 5 monitoring functions including optical and electromagnetic methods. It was found that induced current is very useful as an unique monitoring method for laser processing. This induced current method has many potential applications in laser microprocessing such as for estimation of the ablated amount, observation of layer removal, detection of the moment at when laser beam penetrates the sample, and also for determination of precise tight focusing position of the lens, in real time. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | laser microprocessing / monitoring system / induced current |
| 資料番号 | LQE2006-3 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2006/5/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | A Real Time Monitoring System for Laser Microprocessing(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Real Time Monitoring System for Laser Microprocessing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / laser microprocessing |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Nasrullah IDRIS |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Department of Fiber Amenity Engineering, Graduate School of Engineering, Fukui University |
| 発表年月日 | 2006-06-02 |
| 資料番号 | LQE2006-3 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 90 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |