| 講演名 | 2006-06-02 反射法と結像法の併用による表面凹凸のハイブリッド測定システム(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) 上月 具挙, 舒 芹, 當間 安厚, 菅 博, 石川 和彦, 桜井 哲真, 上田 正紘, |
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| 抄録(和) | 鏡面試料の表面うねりと粗面試料の表面粗さの両方を測定し得る光学的システムを開発した。システムは測定試料からの反射光を用いた表面うねり測定部と,散乱光を用いた表面粗さ測定部を併用したハイブリッド構造となっている。本システムの表面うねり測定における解像度は1nm以下,測定周波数は24Hz,表面粗さ測定における解像度は約2μm,測定レンジは±0.3mm,また測定周波数は100Hzである。 |
| 抄録(英) | A hybrid system for measuring both surface undulation and surface roughness has been proposed by means of laser reflection and laser scattering. Two main subsystems are incorporated in a body; i.e., it is a hybrid system, with one subsystem based on a laser reflection and used for measuring a surface undulation on a mirror-like surface, and the other based on. an imaging of the irradiated portion and used for a surface roughness on a rough surface. It was found that the subsystem for surface undulation has a spatial resolution of 1nm with a measurement frequency of 24Hz, and that the subsystem for roughness has a spatial resolution of 2μm with a measurement frequency of about 100Hz. |
| キーワード(和) | リアルタイム測定 / 表面うねり / 表面粗さ / 反射光 / 散乱光 |
| キーワード(英) | Real-time measurement / Surface undulation / Surface roughness / Laser reflection / Laser scattering |
| 資料番号 | LQE2006-1 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2006/5/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 反射法と結像法の併用による表面凹凸のハイブリッド測定システム(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Hybrid System for Measuring Both Surface Undulation and Roughness by Means of Laser Reflection and Imaging |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | リアルタイム測定 / Real-time measurement |
| キーワード(2)（和/英） | 表面うねり / Surface undulation |
| キーワード(3)（和/英） | 表面粗さ / Surface roughness |
| キーワード(4)（和/英） | 反射光 / Laser reflection |
| キーワード(5)（和/英） | 散乱光 / Laser scattering |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 上月 具挙 / Tomotaka KOZUKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 福井大学工学部 Fiber Amenity Engineering, Faculty of Engineering, University of Fukui |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 舒 芹 / Qin SHU |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 福井大学工学部 Fiber Amenity Engineering, Faculty of Engineering, University of Fukui |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 當間 安厚 / Yasunori TOUMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (株)北計工業 Hokkei Industries Co. Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 菅 博 / Hiroshi SUGA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 広島国際大学社会環境科学部 Faculty of Infrastructural of Technologies, Hiroshima International University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 石川 和彦 / Kazuhiko ISHIKAWA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 福井高専電子情報工学科 Electro-Information Engineering, Fukui National College of Technology |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 桜井 哲真 / Tetsuma SAKURAI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 福井大学工学部 Fiber Amenity Engineering, Faculty of Engineering, University of Fukui |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 上田 正紘 / Masahiro UEDA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 福井大学教育地域科学部 Faculty of Education and Regional Studies, University of Fukui |
| 発表年月日 | 2006-06-02 |
| 資料番号 | LQE2006-1 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 90 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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