| 講演名 | 2006-06-30 In situ赤外分光測定による蒸着重合薄膜の構造解析に関する研究(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般) 仲尾 建治, 田中 邦明, 臼井 博明, |
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| 抄録(和) | アクリル酸亜鉛(ZA)及び長鎖フッ化アクリレート(EFUA)モノマーを電子照射蒸着することによって高分子薄膜を作製し、膜成長過程及び薄膜の安定性を調べるために赤外反射分光法によるその場観察を行った。ZAの製膜では、蒸着時の電子照射によって重合が促進されること、さらに重合は蒸着の初期段階から生じていることが明らかになった。ZAの真空蒸着膜を製膜後に加熱すると、固相重合と再蒸発が同時に進行した。これに対して電子線照射蒸着を行うと、製膜後の加熱によってほとんど変化せず、再蒸発もしない安定な薄膜が得られた。EFUAの単独蒸着では、基板を冷却しなけれぱ膜が堆積しなかった。これに対してZAとEFUAを共蒸着し、ZAのみに電子線照射を行うと、より高い基板温度でも製膜が可能となり、架橋構造を持つ安定なフッ素系高分子薄膜が得られた。 |
| 抄録(英) | Polymeric thin films were obtained by electron-assisted deposition of zinc acrylate (ZA) and fluorinated alkyl acrylate (EFUA) monomers. The film growth process and thermal stability of the films were analyzed by using in-situ IR analysis. It was found that the polymerization reaction can be enhanced by electron irradiation in the course of deposition. The polymerization was achieved from the initial stage of film growth. The electron-assisted deposition of ZA produced polymeric films that was not affected by post-deposition annealing in vacuum. On the other hand, the conventionally evaporated ZA film underwent solid phase polymerization and reevaporation by the post-deposition annealing. EFUA polymer films were prepared by the electron-assisted deposition only when the substrate temperature was cooled to subfreezing temperature, while co-evaporation of ZA and EFUA enabled formation of polymer films without cooling the substrate. |
| キーワード(和) | 蒸着重合 / 共蒸着 / アクリル酸亜鉛 / フッ化アルキルアクリレート / その場赤外分光 |
| キーワード(英) | deposition polymerization / co-deposition / zinc-acrylate / fluoro-alkyl acrylate / in-situ IR analysis |
| 資料番号 | EMD2006-5,CPM2006-29,OME2006-39 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2006/6/23(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | In situ赤外分光測定による蒸着重合薄膜の構造解析に関する研究(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Structure analysis of deposition polymerized thin film by in situ IR spectroscopy |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 蒸着重合 / deposition polymerization |
| キーワード(2)（和/英） | 共蒸着 / co-deposition |
| キーワード(3)（和/英） | アクリル酸亜鉛 / zinc-acrylate |
| キーワード(4)（和/英） | フッ化アルキルアクリレート / fluoro-alkyl acrylate |
| キーワード(5)（和/英） | その場赤外分光 / in-situ IR analysis |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 仲尾 建治 / Kenji NAKAO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京農工大学大学院共生科学技術研究部 Faculty of Engineering, Tokyo University of Agriculture & Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田中 邦明 / Kuniaki TANAKA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京農工大学大学院共生科学技術研究部 Faculty of Engineering, Tokyo University of Agriculture & Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 臼井 博明 / Hiroaki USUI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京農工大学大学院共生科学技術研究部 Faculty of Engineering, Tokyo University of Agriculture & Technology |
| 発表年月日 | 2006-06-30 |
| 資料番号 | EMD2006-5,CPM2006-29,OME2006-39 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 130 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |