講演名 2006-05-19
Siに格子整合可能なGaPNの電気的特性(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si, SiGe,その他の電子材料))
若原 昭浩, 古川 雄三, 佐藤 淳, 島田 英里, 箕原 大介, 米津 宏雄,
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抄録(和) Si-LSIと発光・受光素子を融合した光電子集積回路実現のため,Siと格子整合するIII-V-N混晶層の適用による格子不整合転位の解消に加えて,III-V-N混晶層の価電子制御と,点欠陥の低減が必須である。本研究では,GaPNにSおよびMgを添加する事で,n型およびp型の伝導度制御を行い,その電気的特性を調べた。移動度の温度依存性を検討した結果,n-型GaPNでは,室温付近に於いてもイオン化不純物散乱が支配的であるのに対し,p型GaPNではGaPと同様に低温ではイオン化不純物散乱,室温付近ではフォノン散乱が支配的であることが分かった。また,光伝導度の過渡応答特性より,p型GaPNにおいても,時定数の長い欠陥準位が存在していることが分かった。
抄録(英) In order to realize an optoelectronic integrated circuits, composed of Si-LSIs and optical devices, realization of dislocation free structure by means of III-V-N lattice matched to Si, conductivity control, and reduction of point defects are necessary, n-type and p-type GaPN could be obtained by using S and Mg doping, respectively. Temperature dependence of Hall mobility revealed that ionized impurity scattering was dominant in n-type GaPN even at room temperature, while phonon scattering was dominant at high temperature in p-type GaPN. Time dependent photoconductivity measurement showed long decay time suggesting presence of deep levels.
キーワード(和) GaPN / 不純物添加 / MBE / 電気的特性 / キャリア散乱機構
キーワード(英) GaPN / impurity doping / MBE / electrical properties / carrier scattering mechanism
資料番号 ED2006-31,CPM2006-18,SDM2006-31
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 2006/5/11(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) Siに格子整合可能なGaPNの電気的特性(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si, SiGe,その他の電子材料))
サブタイトル(和)
タイトル(英) Electrical Properties of GaPN
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) GaPN / GaPN
キーワード(2)(和/英) 不純物添加 / impurity doping
キーワード(3)(和/英) MBE / MBE
キーワード(4)(和/英) 電気的特性 / electrical properties
キーワード(5)(和/英) キャリア散乱機構 / carrier scattering mechanism
第 1 著者 氏名(和/英) 若原 昭浩 / Akihiro WAKAHARA
第 1 著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 工学部
Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology
第 2 著者 氏名(和/英) 古川 雄三 / Yuzo FURUKAWA
第 2 著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 工学部
Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology
第 3 著者 氏名(和/英) 佐藤 淳 / Atsushi SATO
第 3 著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 工学部
Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology
第 4 著者 氏名(和/英) 島田 英里 / Eri SHIMADA
第 4 著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 工学部
Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology
第 5 著者 氏名(和/英) 箕原 大介 / Daisuke MINOHARA
第 5 著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 工学部
Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology
第 6 著者 氏名(和/英) 米津 宏雄 / Hiroo YONEZU
第 6 著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 工学部
Faculty of Engineering, Toyohashi University of Technology
発表年月日 2006-05-19
資料番号 ED2006-31,CPM2006-18,SDM2006-31
巻番号(vol) vol.106
号番号(no) 46
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日