| 講演名 | 2006-05-18 急速アニールによる青色EL素子用SrS:Cu薄膜の結晶特性の向上(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si, SiGe,その他の電子材料)) 以西 雅章, 佐々木 孝輔, 中川 大輔, |
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| 抄録(和) | 電子線蒸着法により二重絶縁構造を持つ青色発光EL素子を作製した。発光層はSrS:Cuである。輝度の向上を目的として、EL素子に急速アニールを実施し、結晶及び発光特性への効果を調査した。その結果、450℃、2分の急速アニールにより、X線回折強度が増し、PL発光強度も増すことがわかった。本研究では、急速アニール条件について発表する。 |
| 抄録(英) | Blue EL (electroluminessence) elements with double-insulating- layer structure have been prepared with an electron beam deposition. They have SrS:Cu layer as an blue-emission layer. A rapid thermal annealing process was applied to the EL elements to improve the crystal and EL emission properties. The XRD (X-ray diffraction) and PL (photoluminescence) data were greatly improved through this process. An optimum annealing condition was 2 min annealing time under the temperature at 450℃. |
| キーワード(和) | 青色EL素子 / SrS:Cu薄膜 / 急速熱処理 |
| キーワード(英) | Blue EL elements / SrS:Cu films / Rapid thermal annealing |
| 資料番号 | ED2006-20,CPM2006-7,SDM2006-20 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2006/5/11(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 急速アニールによる青色EL素子用SrS:Cu薄膜の結晶特性の向上(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si, SiGe,その他の電子材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Improvement of crystal properties of SrS:Cu films for blue EL elements using rapid thermal annealing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 青色EL素子 / Blue EL elements |
| キーワード(2)（和/英） | SrS:Cu薄膜 / SrS:Cu films |
| キーワード(3)（和/英） | 急速熱処理 / Rapid thermal annealing |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学 工学部 電気・電子工学科 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 佐々木 孝輔 / Kosuke Sasaki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学 工学部 電気・電子工学科 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中川 大輔 / Daisuke Nakagawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学 工学部 電気・電子工学科 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2006-05-18 |
| 資料番号 | ED2006-20,CPM2006-7,SDM2006-20 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 46 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |