| 講演名 | 2006-04-21 自己整合法による微小球レンズ装荷裏面入射型高速受光素子アレイ(光部品の実装・信頼性,一般) 西出 和広, 池田 健志, 宋 学良, 王 書栄, 中野 義昭, |
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| 抄録(和) | 本論文は,アレイ化した受光素子を高速化のために受光面を小さく且つ裏面入射型にし,各受光面に対応した微小球レンズを装着して,感度の向上と単一モードファイバとの位置合わせ精度の許容幅(トレランス)拡大を狙ったものである.受光部は,直径40μmのInGaAs系のp-n接合で,250μmのピッチで4個アレイ化してある.厚さ160μmのチップで受光部に対向する位置に直径50μmの凹部を形成し,そこに透明性樹脂を用いて直径180μmの球形ガラスレンズを自己整合で位置合わせし,固定している.単一モードファイバを介し,波長1.31μmと1.55μmレーザ光を照射した測定の結果,球レンズによって光の結合効率は3.43倍向上し,光軸に平行(9.23倍)・垂直方向(2.17倍)のトレランスも大幅に改善している. |
| 抄録(英) | Simulation and fabrication results on back-illuminated 4-channel Photo-Diode array with self aligned micro ball lens are described. The pitch of channel and diameter of each PD are 250μm and 40μm, respectively. Resultant output current is 3.43 times larger than that without lens. The alignment tolerance between optical axis's of single mode fiber and sensitive area of the each diode is approx. improved from 17.5μm to 38μm. At the same time, the tolerance in separation between ball lens and fibber is 170μm. These large tolerances coincide with simulation results and show the device configuration should be suitable for receivers for multi-channel inter-connection. As well as the cross talk between channels are discussed. |
| キーワード(和) | 受光素子 / 裏面入射 / アレイ / レンズ / トレランス |
| キーワード(英) | Photodiode / Back-illuminated / Array / Lens / Tolerance |
| 資料番号 | R2006-3,CPM2006-3,OPE2006-3 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2006/4/14(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 自己整合法による微小球レンズ装荷裏面入射型高速受光素子アレイ(光部品の実装・信頼性,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Back-Illuminated Photo-Diode Array Attached with Self-Aligned Micro Ball Lens |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 受光素子 / Photodiode |
| キーワード(2)（和/英） | 裏面入射 / Back-illuminated |
| キーワード(3)（和/英） | アレイ / Array |
| キーワード(4)（和/英） | レンズ / Lens |
| キーワード(5)（和/英） | トレランス / Tolerance |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 西出 和広 / Kazuhiro Nishide |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京大学 先端科学技術研究センター:雇用能力開発機構 高度職業能力開発促進センター Research Center for Advanced science and Technology, The University of Tokyo:Advanced Polytechnic Center, Employment and Human resources Development organization of Japan |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 池田 健志 / Kenji Ikeda |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京大学 先端科学技術研究センター:株式会社 インテレオ Research Center for Advanced science and Technology, The University of Tokyo:Intereo Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 宋 学良 / Xueliang Song |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京大学 先端科学技術研究センター Research Center for Advanced science and Technology, The University of Tokyo |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 王 書栄 / Shurong Wang |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京大学 先端科学技術研究センター Research Center for Advanced science and Technology, The University of Tokyo |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 中野 義昭 / Yoshiaki Nakano |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東京大学 先端科学技術研究センター Research Center for Advanced science and Technology, The University of Tokyo |
| 発表年月日 | 2006-04-21 |
| 資料番号 | R2006-3,CPM2006-3,OPE2006-3 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 19 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |