| 講演名 | 2006-04-21 MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器(光部品の実装・信頼性,一般) 熊ヶ谷 育生, 木下 暢人, 小西 聡, 佐野 知巳, 片山 誠, |
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| 抄録(和) | 次世代フォトニックネットワーク技術として期待されている波長多重(Wavelength Division Multiplex,WDM)伝送システムで用いられるエルビウム添加ファイバアンプ(Erbium-Doped Fiber Amplifier,EDFA)は不均一な利得特性を有する。この利得特性を均一化するために可変利得等化器(Dynamic Gain EQualizar,DGEQ)の利用が考えられている。本研究では高分解能、大変位、並列動作が可能なMEMSアクチュエータアレイを用いた機械式DGEQの研究を進めている。バッチプロセスによって製作した8本のスライダアレイ(単一スライダ幅600μm)の並列動作による、8チャネルの独立損失スペクトル制御について報告する。 |
| 抄録(英) | This paper reports MEMS based mechanical dynamic gain equalizer (hereafter DGEQ) which is expected to equalize non-uniformities of spectral intensity in WDM transportation. Batch-fabricated multi sliders for DGEQ are presented as optical application of electrostatic controlled linear inchworm actuator (hereafter ECLIA). 8 multi sliders (600μm wide) corresponding to 8 channels are fabricated by DRIE and bonded on a pyrex glass substrate for a reliable electrical isolation. Operating of developed multi sliders and their optical attenuation as DGEQ will be reported in succession to design and fabrication of device. |
| キーワード(和) | ECLIA / 可変利得等化器 / スライダアレイ / 一括製作 / 並列動作 / 波長多重伝送システム |
| キーワード(英) | ECLIA / DGEQ / Arrayed sliders / Batch fabrication / Parallel motion / WDM |
| 資料番号 | R2006-2,CPM2006-2,OPE2006-2 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2006/4/14(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器(光部品の実装・信頼性,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Mechanical Dynamic Gain Equalizer using MEMS Actuator Array |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ECLIA / ECLIA |
| キーワード(2)（和/英） | 可変利得等化器 / DGEQ |
| キーワード(3)（和/英） | スライダアレイ / Arrayed sliders |
| キーワード(4)（和/英） | 一括製作 / Batch fabrication |
| キーワード(5)（和/英） | 並列動作 / Parallel motion |
| キーワード(6)（和/英） | 波長多重伝送システム / WDM |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 熊ヶ谷 育生 / Ikuo KUMAGAYA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 立命館大学理工学部 Science and Engineering, Ritsumeikan University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 木下 暢人 / Nobuhito KINOSHITA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 立命館大学理工学部 Science and Engineering, Ritsumeikan University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 小西 聡 / Satoshi KONISHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 立命館大学理工学部 Science and Engineering, Ritsumeikan University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 佐野 知巳 / Tomomi SANO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 片山 誠 / Makoto KATAYAMA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 発表年月日 | 2006-04-21 |
| 資料番号 | R2006-2,CPM2006-2,OPE2006-2 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 19 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |