| 講演名 | 2006/4/10 ポリジヘキシルシラン薄膜の配向性に関する研究(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術) 古川 昌司, 大多 英隆, |
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| 抄録(和) | 我々は、ポリジメチルシランを真空蒸着法により薄膜化し、その主鎖の配向性を制御することに成功している。本研究においては、有機溶媒に可溶なポリジヘキシルシランに着目し、その溶液から薄膜を作製した。その結果、ポリジヘキシルシラン主鎖の殆どが、基板表面に対して平行に配向していることが分かった。また、ポリジヘキシルシラン分子と基板との接触についても、特定の2種類の場合が殆どであることが分かった。本研究では、ポリジヘキシルシランの分子構造を念頭に置いて、その理由等についても考察する。 |
| 抄録(英) | Poly (di-methyl silane), the most fundamental organopolysilane, is not solved in organic solvent at room temperature. Therefore, we have proposed the vacuum evaporation method in order to fabricate poly (di-methyl silane) thin films. On the other hand, poly (di-hexyl silane) is solved in organic solvent at room temperature. In this paper, poly (di-hexyl silane) thin films are fabricated by wet process, and the films obtained are examined by X-ray diffraction. As a result, it is found that the direction of the main-chain (all-trans conformation) is parallel to the substrate surface. The reason is discussed on the bases of the obtained data and the molecular structure of poly (di-hexyl silane). |
| キーワード(和) | ポリジヘキシルシラン / X線回折 / 配向性 / 分子構造 |
| キーワード(英) | Poly (di-hexyl silane) / X-ray Diffraction / Orientation / Molecular Structure |
| 資料番号 | ED2006-15,SDM2006-15,OME2006-15 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2006/4/10(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ポリジヘキシルシラン薄膜の配向性に関する研究(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on Orientation of Poly (di-hexyl silane) Thin Films |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ポリジヘキシルシラン / Poly (di-hexyl silane) |
| キーワード(2)（和/英） | X線回折 / X-ray Diffraction |
| キーワード(3)（和/英） | 配向性 / Orientation |
| キーワード(4)（和/英） | 分子構造 / Molecular Structure |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 古川 昌司 / Shoji FURUKAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 九州工業大学・大学院情報工学研究科 Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大多 英隆 / Hidetaka OHTA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 九州工業大学・大学院情報工学研究科 Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2006/4/10 |
| 資料番号 | ED2006-15,SDM2006-15,OME2006-15 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | 6 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |