| 講演名 | 2006-03-03 ねじり振動を用いたRF-MEMSフィルタの開発(移動通信ワークショップ) 橋村 昭範, 中村 邦彦, 内藤 康幸, 中西 淑人, |
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| 抄録(和) | 携帯無線端末の更なる小型化には、無線部フロントエンドの小型化、特に高周波フィルタの集積化が必須である。そこで我々は半導体プロセスと親和性が高いシリコンプロセスを用いたRF-MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)フィルタを提案する。今回、MEMSフィルタの課題の1つである小型化と高Q化の両立に向け、ねじり振動モードを利用した共振器の設計、試作、評価を行った。提案構造の共振特性を評価した結果、たわみ振動モードの2倍となるQ値14600が得られ、本構造が小型化、高Q化に有効であることを実証した。 |
| 抄録(英) | This paper proposes the investigation of high Q torsional-mode MEMS filter that can be integrated in RF front-end for future mobile terminal applications. We have focused on resolving the issue of support loss in micro-scale beam resonators to improve the Q factor. A torsional-mode beam resonator that was fabricated using anisotropic etching by crystallization technique demonstrated the Q factor of 14600, which is 2X larger than achieved by the flexural-mode resonance counterpart. |
| キーワード(和) | MEMS / フィルタ / 共振器 / ねじり振動 / 単結晶シリコン |
| キーワード(英) | MEMS / filter / resonator / torsional-mode resonance / single-crystal silicon |
| 資料番号 | MW2005-185 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
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| 開催期間 | 2006/2/24(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Microwaves (MW) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ねじり振動を用いたRF-MEMSフィルタの開発(移動通信ワークショップ) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Torsional-Mode RF-MEMS Filter |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(2)（和/英） | フィルタ / filter |
| キーワード(3)（和/英） | 共振器 / resonator |
| キーワード(4)（和/英） | ねじり振動 / torsional-mode resonance |
| キーワード(5)（和/英） | 単結晶シリコン / single-crystal silicon |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 橋村 昭範 / Akinori HASHIMURA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 松下電器産業格式会社 ネットワーク開発センター Network Development Center, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中村 邦彦 / Kunihiko NAKAMURA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 松下電器産業格式会社 ネットワーク開発センター Network Development Center, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 内藤 康幸 / Yasuyuki NAITO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 松下電器産業格式会社 ネットワーク開発センター Network Development Center, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 中西 淑人 / Yoshito NAKANISHI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 松下電器産業格式会社 ネットワーク開発センター Network Development Center, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 2006-03-03 |
| 資料番号 | MW2005-185 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 626 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |